Patent search ap:("哈尔滨工业大学") AND inv:"李浩东" Page 1

1.

发明公开
一种飞秒激光加工系统与方法审中-实审

公开(公告)号：CN119839458A

公开(公告)日：2025-04-18

申请号：CN202510200807.8

申请日：2025-02-24

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 丁烨 , 孙晓媛 , 周赫 , 李浩东 , 杨立军

IPC: B23K26/364 , B23K26/064 , B23K26/073 , B23K26/142

Abstract: 本发明涉及激光微纳加工的技术领域，具体提供了一种飞秒激光加工系统与方法，飞秒激光加工系统包括激光发射模块和光束整形模块，所述光束整形模块包括脉冲分离器、空间光调制器和扩束镜，所述激光发射模块、所述脉冲分离器、所述扩束镜和所述空间光调制器依次设置；所述激光发射模块用于发出激光脉冲，所述激光脉冲依次经过所述脉冲分离器和所述扩束镜后到达所述空间光调制器，所述脉冲分离器用于分裂激光脉冲，并在分裂的激光脉冲之间引入脉冲延迟时间，所述扩束镜用于激光光束的扩束，所述空间光调制器用于将高斯光束整形成平顶光束。本发明具有提升光栅表面的纳米槽道的加工质量的效果。

Patent Agency Ranking