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公开(公告)号：CN104181691B
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201410461046.3
申请日：2014-09-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G02B26/10
Abstract: 基于MEMS微镜折叠式的扫描光学系统，属于光学领域。解决了现有MEMS扫描系统，扫描视场角小的问题。它包括聚焦透镜组、MEMS微镜、f-θ透镜组和扩角透镜组；入射光经聚焦透镜组透射后，再经MEMS微镜反射后，入射至f-θ透镜组，经f-θ透镜组透射后，入射至扩角透镜组，经扩角透镜组扩角后的透射光与系统光轴的夹角为θ2，且f2小于f1；其中，θ1为经MEMS微镜反射的光与系统光轴的夹角，f2表示扩角透镜组的有效像方焦距，f1表示f-θ透镜组的焦距；所述的MEMS微镜的机械偏转角为[-4°,+4°]，夹角θ1的范围是[-8°,+8°]。本发明主要应用在光学扫描领域。
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公开(公告)号：CN102829903A
公开(公告)日：2012-12-19
申请号：CN201210315020.9
申请日：2012-08-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: MEMS扫描式激光外差干涉仪及其测量玻璃应力的方法，涉及一种干涉仪及其测量玻璃应力的方法。为了解决玻璃应力的测量对于红外材料具有局限性问题。激光器发出的光经声光移频器后为频率为f的1级光和f'的0级光；1级光为信号光，0级光为本振光，1级光经过λ/2波片，进入偏振分束棱镜；再透过部件后，经MEMS振镜7对样品进行扫描后被反射镜反射按原光路返回；光束再次通过部件后，被偏振分束棱镜反射出水平分量，再与0级光拍频，通过改变部件与其入射光偏振方向分别为0°和45°，信号处理系统对探测器测得两个电流进行处理，得到样品的玻璃应力，所述部件为λ/4波片或45°方向加电极的克尔效应晶体。用于测量玻璃应力。
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公开(公告)号：CN104181691A
公开(公告)日：2014-12-03
申请号：CN201410461046.3
申请日：2014-09-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G02B26/10
Abstract: 基于MEMS微镜折叠式的扫描光学系统，属于光学领域。解决了现有MEMS扫描系统，扫描视场角小的问题。它包括聚焦透镜组、MEMS微镜、f-θ透镜组和扩角透镜组；入射光经聚焦透镜组透射后，再经MEMS微镜反射后，入射至f-θ透镜组，经f-θ透镜组透射后，入射至扩角透镜组，经扩角透镜组扩角后的透射光与系统光轴的夹角为θ2，且f2小于f1；其中，θ1为经MEMS微镜反射的光与系统光轴的夹角，f2表示扩角透镜组的有效像方焦距，f1表示f-θ透镜组的焦距；所述的MEMS微镜的机械偏转角为[-4°,+4°]，夹角θ1的范围是[-8°,+8°]。本发明主要应用在光学扫描领域。
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公开(公告)号：CN102829903B
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201210315020.9
申请日：2012-08-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: MEMS扫描式激光外差干涉仪及其测量玻璃应力的方法，涉及一种干涉仪及其测量玻璃应力的方法。为了解决玻璃应力的测量对于红外材料具有局限性问题。激光器发出的光经声光移频器后为频率为f的1级光和f'的0级光；1级光为信号光，0级光为本振光，1级光经过λ/2波片，进入偏振分束棱镜；再透过部件后，经MEMS振镜7对样品进行扫描后被反射镜反射按原光路返回；光束再次通过部件后，被偏振分束棱镜反射出水平分量，再与0级光拍频，通过改变部件与其入射光偏振方向分别为0°和45°，信号处理系统对探测器测得两个电流进行处理，得到样品的玻璃应力，所述部件为λ/4波片或45°方向加电极的克尔效应晶体。用于测量玻璃应力。
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