用于柱面菲涅尔结构超精密加工的切削系统误差补偿方法

    公开(公告)号:CN116197733A

    公开(公告)日:2023-06-02

    申请号:CN202310223715.2

    申请日:2023-03-09

    Abstract: 用于柱面菲涅尔结构超精密加工的切削系统误差补偿方法,属于超精密加工技术领域。所述方法包括以下步骤:S1、分析柱面菲涅尔五轴机运动链,建立所述五轴机床运动学模型和机床误差模型;S2、利用傅里叶幅值敏感性分析方法,分析五轴机床的15项位置无关几何误差对柱面菲涅尔形状精度的敏感性,找到对加工影响最大的若干项几何误差,S3、采用千分表和试切法对几何误差进行辨识,测量得到几何误差值;S4、提出五轴机床误差补偿迭代算法,对各轴运动量进行误差补偿。本发明的方法实现了柱面菲涅尔结构超精密加工的切削系统的误差补偿,以保证柱面菲涅尔加工的精度和刚度。

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