一种采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的方法

    公开(公告)号:CN105347298B

    公开(公告)日:2016-11-30

    申请号:CN201510877418.5

    申请日:2014-08-07

    Abstract: 一种采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的方法,属于微纳米结构加工领域。为了解决复杂三维微纳米结构加工问题,所述装置包括AFM、X方向精密工作台、Y方向精密工作台,X方向精密工作台底座固连在Y方向精密工作台的滑块上,X方向定位工作台的滑块进行X方向运动,Y方向精密工作台底座固连在AFM样品台上,Y方向定位工作台的滑块进行Y方向运动。本发明提出的三种方法分别通过对同一套商用AFM以及高精度定位平台系统的不用控制和参数设置,实现采用AFM探针纳米刻划技术加工复杂三维微纳米结构的加工。本发明能够在较低成本下解决复杂三维微纳米结构的加工问题,且方法简单,装置及加工实现成本相对较低。

    基于原子力显微镜在薄壁微小球面加工微纳米结构的五轴加工装置及方法

    公开(公告)号:CN104140077A

    公开(公告)日:2014-11-12

    申请号:CN201410385541.0

    申请日:2014-08-07

    Abstract: 本发明公开了一种基于原子力显微镜在薄壁微小球面加工微纳米结构的五轴加工装置及方法。所述装置包括AFM、二维微调心机构、精密气浮轴系、二维高精度定位平台和带动AFM进行转动的电动旋转台,二维微调心机构与精密气浮轴系的上端连接,精密气浮轴系的下端与二维高精度定位平台连接,二维高精度定位平台底座固连在AFM的样品台上,电动旋转台与AFM相连接。本发明利用原子力显微镜AFM的加工的优势,并且改善了在薄壁微球表面加工范围受限的问题,实现了基于AFM在薄壁微小球面加工微纳米结构。本发明加工方法简单,无需复杂的加工系统,操作简单,并且可以在薄壁微球表面上得到精度达到纳米量级的微纳米结构。

    采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的方法

    公开(公告)号:CN105347299B

    公开(公告)日:2016-10-26

    申请号:CN201510877456.0

    申请日:2014-08-07

    Abstract: 采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的方法,属于微纳米结构加工领域。为了解决复杂三维微纳米结构加工问题,所述装置包括AFM、X方向精密工作台、Y方向精密工作台,X方向精密工作台底座固连在Y方向精密工作台的滑块上,X方向定位工作台的滑块进行X方向运动,Y方向精密工作台底座固连在AFM样品台上,Y方向定位工作台的滑块进行Y方向运动。本发明提出的三种方法分别通过对同一套商用AFM以及高精度定位平台系统的不用控制和参数设置,实现采用AFM探针纳米刻划技术加工复杂三维微纳米结构的加工。本发明能够在较低成本下解决复杂三维微纳米结构的加工问题,且方法简单,装置及加工实现成本相对较低。

    采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的装置及方法

    公开(公告)号:CN104150433A

    公开(公告)日:2014-11-19

    申请号:CN201410385711.5

    申请日:2014-08-07

    Abstract: 一种采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的装置及方法,属于微纳米结构加工领域。为了解决复杂三维微纳米结构加工问题,所述装置包括AFM、X方向精密工作台、Y方向精密工作台,X方向精密工作台底座固连在在Y方向精密工作台的滑块上,X方向定位工作台的滑块进行X方向运动,Y方向精密工作台底座固连在AFM样品台上,Y方向定位工作台的滑块进行Y方向运动。本发明提出的三种方法分别通过对同一套商用AFM以及高精度定位平台系统的不用控制和参数设置,实现采用AFM探针纳米刻划技术加工复杂三维微纳米结构的加工。本发明能够在较低成本下解决复杂三维微纳米结构的加工问题,且方法简单,装置及加工实现成本相对较低。

    采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的方法

    公开(公告)号:CN105347299A

    公开(公告)日:2016-02-24

    申请号:CN201510877456.0

    申请日:2014-08-07

    Abstract: 采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的方法,属于微纳米结构加工领域。为了解决复杂三维微纳米结构加工问题,所述装置包括AFM、X方向精密工作台、Y方向精密工作台,X方向精密工作台底座固连在Y方向精密工作台的滑块上,X方向定位工作台的滑块进行X方向运动,Y方向精密工作台底座固连在AFM样品台上,Y方向定位工作台的滑块进行Y方向运动。本发明提出的三种方法分别通过对同一套商用AFM以及高精度定位平台系统的不用控制和参数设置,实现采用AFM探针纳米刻划技术加工复杂三维微纳米结构的加工。本发明能够在较低成本下解决复杂三维微纳米结构的加工问题,且方法简单,装置及加工实现成本相对较低。

    一种AFM探针相同刻划方向机械加工复杂纳米结构的方法

    公开(公告)号:CN104140076B

    公开(公告)日:2015-12-02

    申请号:CN201410385534.0

    申请日:2014-08-07

    Abstract: 本发明公开了1、一种AFM探针相同刻划方向机械加工复杂纳米结构的方法,其特征在于所述方法包括如下步骤:一、被加工样品固定在手动二维调整台的上部,对精密主轴进行调心,并确定AFM探针与精密主轴回转中心的相对位置关系;二、确定AFM探针的刻划方向,对AFM针尖施加加工载荷,移动二维高精度定位平台进行刻划图案的第一条线;三、将施加到AFM探针上的载荷设置为零,旋转精密主轴配合移动二维高精度定位平台使得第一条线的终点与针尖位置重合,并且沿着相同方向刻划时第二条线与第一条线的角度偏差与所需加工结构图案一致,根据第二条线的长度进行刻划;该方法获得了加工结构深度、加工质量一致性好的优势。

    一种AFM探针相同刻划方向机械加工复杂纳米结构的装置及方法

    公开(公告)号:CN104140076A

    公开(公告)日:2014-11-12

    申请号:CN201410385534.0

    申请日:2014-08-07

    Abstract: 本发明公开了一种AFM探针相同刻划方向机械加工复杂纳米结构的装置及方法。所述装置包括AFM、手动二维调整台、精密主轴及二维高精度定位平台,其中:手动调整二维台的底部与精密主轴的上端连接,精密主轴的下端与二维高精度定位平台连接,二维高精度定位平台固连在AFM的样品台上。本发明利用原子力显微镜AFM的加工的优势,并且改善了由于AFM探针几何形状不完全对称对加工结果有所影响的问题,实现了AFM探针同方向加工刻划的方法。本发明加工方法简单,无需复杂的加工系统,操作简单,并且可以得到精度达到纳米量级的微纳米结构。本发明实现了AFM探针同方向纳米刻划加工,该方法获得了加工结构深度、加工质量一致性好的优势。

    采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的方法

    公开(公告)号:CN104150433B

    公开(公告)日:2016-03-02

    申请号:CN201410385711.5

    申请日:2014-08-07

    Abstract: 一种采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的方法,属于微纳米结构加工领域。为了解决复杂三维微纳米结构加工问题,所述装置包括AFM、X方向精密工作台、Y方向精密工作台,X方向精密工作台底座固连在Y方向精密工作台的滑块上,X方向定位工作台的滑块进行X方向运动,Y方向精密工作台底座固连在AFM样品台上,Y方向定位工作台的滑块进行Y方向运动。本发明提出的三种方法分别通过对同一套商用AFM以及高精度定位平台系统的不用控制和参数设置,实现采用AFM探针纳米刻划技术加工复杂三维微纳米结构的加工。本发明能够在较低成本下解决复杂三维微纳米结构的加工问题,且方法简单,装置及加工实现成本相对较低。

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