公开(公告)号：CN100439931C

公开(公告)日：2008-12-03

申请号：CN200510119034.3

申请日：2005-11-29

Applicant: 吉林大学

Inventor： 衣茂斌 ,  刘鸿飞 ,  杨罕 ,  刘少林 ,  孙洪波 ,  陈岐岱

IPC: G01R31/00 ,  G01R31/02 ,  G01R31/08 ,  G01R31/28 ,  G01R19/00

CPC classification number: Y04S10/522

Abstract: 本发明的可校准电压的电光探测器属用于集成电路检测的装置。由激光器8、显微镜物镜头13、电光探头14；照明光源15、滤光镜16、光电探测器26等组成；所说的电光探头14是由透明基板1、其上表面镀有消反射膜2、其下表面镀有接地导电膜3、在接地导电膜3下的电光介质层4构成，电光介质层4的极化方向和光束传播方向皆与接地导电膜3的法向平行。本发明的电光探头输出的电光信号所对应的电路里电压信号幅度能够予以校准，增强了电光探测技术在集成电路芯片内部特性测试和电路故障诊断方面的应用；电光探头具有较高的电压灵敏度和较高的探测电场分布的空间分辨率；对电路工作状态无可观测的干扰；避免相邻信号传输线间的电光串信号。

公开(公告)号：CN1790036A

公开(公告)日：2006-06-21

申请号：CN200510119034.3

申请日：2005-11-29

Applicant: 吉林大学

Inventor： 衣茂斌 ,  刘鸿飞 ,  杨罕 ,  刘少林 ,  孙洪波 ,  陈岐岱

IPC: G01R31/00 ,  G01R31/02 ,  G01R31/08 ,  G01R31/28 ,  G01R19/00

CPC classification number: Y04S10/522

Abstract: 本发明的可校准电压的电光探测器属用于集成电路检测的装置。由激光器8、显微镜物镜头13、电光探头14；照明光源15、滤光镜16、光电探测器26等组成；所说的电光探头14是由透明基板1、其上表面镀有消反射膜2、其下表面镀有接地导电膜3、在接地导电膜3下的电光介质层4构成，电光介质层4的极化方向和光束传播方向皆与接地导电膜3的法向平行。本发明的电光探头输出的电光信号所对应的电路里电压信号幅度能够予以校准，增强了电光探测技术在集成电路芯片内部特性测试和电路故障诊断方面的应用；电光探头具有较高的电压灵敏度和较高的探测电场分布的空间分辨率；对电路工作状态无可观测的干扰；避免相邻信号传输线间的电光串信号。