公开(公告)号：CN113607519A

公开(公告)日：2021-11-05

申请号：CN202110881193.6

申请日：2021-08-02

Applicant: 合肥工业大学

Inventor： 王旭迪 ,  常仁超 ,  毕海林 ,  张俊 ,  张殿伟 ,  谢晶

IPC: G01N1/28 ,  G01N33/00

Abstract: 本发明公开了一种基于激光破坏样品的残余气体分析装置，其包括样品室、分析室、全金属角阀、针阀、激光器、全量程真空计、冷阴极电离真空计、残余气体分析仪、分子泵组、带孔无氧铜板、氮气瓶、加热带、调压器、温度计、电源。本发明利用真空系统外置激光器破坏样品，具有准确、便捷、利于维持真空环境的优点。实验通过静态升压法和小孔流导法两种方法对待测样品内残余气体进行气量测试以及成分分析。

公开(公告)号：CN113295575A

公开(公告)日：2021-08-24

申请号：CN202110566941.1

申请日：2021-05-24

Applicant: 合肥工业大学

Inventor： 王旭迪 ,  王蓝陵 ,  梅正卫 ,  常仁超 ,  尉伟 ,  张殿伟 ,  谢晶

IPC: G01N7/04

Abstract: 本发明介绍了一种基于差压法的吸气剂吸气性能测试集成装置，是与玻璃‑硅漏孔相结合的集成动态流导法和静态升压法的测试吸气剂吸气性能的新装置，使吸气剂吸气性能测试具有精确度高、效率高、简便易行的特点。本发明装置包括：真空腔室、真空计、RGA、真空泵组、玻璃‑硅漏孔、充气装置、真空阀门、真空管路，真空泵组抽气使整个系统初始压力低于10‑5Pa，充气装置通过玻璃‑硅漏孔对系统充气，分子流状态下，气体流经玻璃‑硅漏孔时流导保持不变，通过控制进气压力来控制进气流量，吸气室设置吸气剂加热激活装置，激活后的吸气剂吸附装置中的气体引起内部压力变化，记录装置中压力变化，从而计算出吸气剂吸附容量和抽气速率等性能参数。

公开(公告)号：CN113607519B

公开(公告)日：2024-12-03

申请号：CN202110881193.6

申请日：2021-08-02

Applicant: 合肥工业大学

Inventor： 王旭迪 ,  常仁超 ,  毕海林 ,  张俊 ,  张殿伟 ,  谢晶

IPC: G01N1/28 ,  G01N33/00

Abstract: 本发明公开了一种基于激光破坏样品的残余气体分析装置，其包括样品室、分析室、全金属角阀、针阀、激光器、全量程真空计、冷阴极电离真空计、残余气体分析仪、分子泵组、带孔无氧铜板、氮气瓶、加热带、调压器、温度计、电源。本发明利用真空系统外置激光器破坏样品，具有准确、便捷、利于维持真空环境的优点。实验通过静态升压法和小孔流导法两种方法对待测样品内残余气体进行气量测试以及成分分析。

公开(公告)号：CN110873591A

公开(公告)日：2020-03-10

申请号：CN201911228529.8

申请日：2019-12-04

Applicant: 合肥工业大学

Inventor： 王旭迪 ,  陈志强 ,  花雨 ,  毕海林 ,  张俊 ,  张殿伟 ,  谢晶

IPC: G01F1/34

Abstract: 本发明涉及一种基于分子流传输的气体微流量传感装置：本发明的目的是为了解决现有气体传感装置无法快速、精确、低成本地测量10-8Pam3s-1-10-3Pam3s-1量级的气体流量的问题，本发明所提供的基于分子流传输的气体微流量传感装置，包括差压变送器、气体微流量传感元件、第一阀门、旁通阀门、旁通管路，气体微流量传感装置的流导C可通过式 确定，测量的气体流量Q可通过式Q＝C×ΔP计算确定，该基于分子流传输的气体微流量传感装置具有在大气压强范围内流导恒定、可控、制作过程简单且流经其的气体流态处于分子流态等优点。本发明还提供了利用上述基于分子流传输的气体微流量传感装置测量气体微流量的方法。