公开(公告)号：CN101546965A

公开(公告)日：2009-09-30

申请号：CN200910111640.9

申请日：2009-04-30

Applicant: 厦门大学

Inventor： 董涛 ,  杨朝初 ,  牛群峰 ,  王莉 ,  魏孔军 ,  张玉龙

IPC: H02N2/00

Abstract: 基于MEMS的平面振动双螺旋压电换能器，涉及一种换能器，尤其是涉及一种基于微机电系统(MEMS)技术，主要应用于环境中的低频振动能量收集，还可用于惯性传感器、加速计、陀螺仪、作动器等的平面振动双螺旋压电换能器。提供一种基于MEMS的平面振动双螺旋压电换能器。设有外壳、PZT压电薄膜、两组大质量块、两对电极和一对接线端。换能器平面振动，即收集平面内振动的机械能；双螺旋状压电梁式结构，d31工作模式的压电器件，能够产生较大的机电耦合特性；新颖可靠的电极结构能够同时用于极化和传导，电极串联输出；采用MEMS工艺制作，与硅加工工艺兼容，易与其它基于MEMS工艺的传感器集成。

公开(公告)号：CN101546965B

公开(公告)日：2011-01-26

申请号：CN200910111640.9

申请日：2009-04-30

Applicant: 厦门大学

Inventor： 董涛 ,  杨朝初 ,  牛群峰 ,  王莉 ,  魏孔军 ,  张玉龙

IPC: H01L41/113 ,  H02N2/00

Abstract: 基于MEMS的平面振动双螺旋压电换能器，涉及一种换能器，尤其是涉及一种基于微机电系统(MEMS)技术，主要应用于环境中的低频振动能量收集，还可用于惯性传感器、加速计、陀螺仪、作动器等的平面振动双螺旋压电换能器。提供一种基于MEMS的平面振动双螺旋压电换能器。设有外壳、PZT压电薄膜、两组大质量块、两对电极和一对接线端。换能器平面振动，即收集平面内振动的机械能；双螺旋状压电梁式结构，d31工作模式的压电器件，能够产生较大的机电耦合特性；新颖可靠的电极结构能够同时用于极化和传导，电极串联输出；采用MEMS工艺制作，与硅加工工艺兼容，易与其它基于MEMS工艺的传感器集成。