公开(公告)号：CN114370958B

公开(公告)日：2023-03-31

申请号：CN202210037881.9

申请日：2022-01-13

Applicant: 厦门大学

Inventor： 吴德志 ,  程显舒 ,  陈卓 ,  朱彬 ,  吴益根 ,  王中宝

IPC: G01L1/14

Abstract: 一种高性能电容式柔性压力传感器及其制备方法，涉及柔性压力传感器。从上至下依次包括：上屏蔽层、上层柔性封装层、上电极层、复合纳米纤维薄膜介电层、下电极层、辅助电极、下层柔性封装层和下屏蔽层；复合纳米纤维薄膜介电层带图案化纤维微结构阵列和图案化低弹性模量微结构阵列；上屏蔽层设于上层柔性封装层上方；上电极层设于柔性封装层下方并共形贴附在一起；下电极层和辅助电极设于下层柔性封装层上；下屏蔽层设于下层柔性封装层下方；复合纳米纤维薄膜介电层设于上电极层与下电极层之间，设有纳米纤维的图案化微结构阵列和低弹性模量微结构阵列，提升传感器的量程、线性度和灵敏度等性能。适用于可穿戴电子、人机交互、飞机蒙皮等。

公开(公告)号：CN118275508A

公开(公告)日：2024-07-02

申请号：CN202410193825.3

申请日：2024-02-21

Applicant: 北京智芯微电子科技有限公司 ,  厦门大学

Inventor： 温立国 ,  朱彬 ,  李小娟 ,  吴德志 ,  沈红伟 ,  靳嘉桢

IPC: G01N27/22

Abstract: 本申请公开一种湿度传感器和湿度传感器的制备方法。湿度传感器包括晶圆及湿敏膜。晶圆包括基底和设置在基底上的电极。湿敏膜位于电极的表面，湿敏膜包括第一湿敏膜和第二湿敏膜，第一湿敏膜由未完全亚胺化的聚酰亚胺制成，第二湿敏膜由氟化聚酰亚胺制成，第二湿敏膜位于电极与第一湿敏膜之间。一方面使得在低湿度的情况下，可利用第一湿敏膜实现对水分敏感，实现低湿度感知。另一方面利用第二湿敏膜中的含氟官能团来提高第二湿敏膜的高湿稳定性和降低第二湿敏膜的迟滞性。如此，基于第一湿敏膜和第二湿敏膜的湿度传感器可在全湿度范围内完成检测，即实现宽量程，且在全湿度范围内可实现低迟滞性和高湿稳定性，从而减少湿度传感器的使用限制。

公开(公告)号：CN114370958A

公开(公告)日：2022-04-19

申请号：CN202210037881.9

申请日：2022-01-13

Applicant: 厦门大学

Inventor： 吴德志 ,  程显舒 ,  陈卓 ,  朱彬 ,  吴益根 ,  王中宝

IPC: G01L1/14

Abstract: 一种高性能电容式柔性压力传感器及其制备方法，涉及柔性压力传感器。从上至下依次包括：上屏蔽层、上层柔性封装层、上电极层、复合纳米纤维薄膜介电层、下电极层、辅助电极、下层柔性封装层和下屏蔽层；复合纳米纤维薄膜介电层带图案化纤维微结构阵列和图案化低弹性模量微结构阵列；上屏蔽层设于上层柔性封装层上方；上电极层设于柔性封装层下方并共形贴附在一起；下电极层和辅助电极设于下层柔性封装层上；下屏蔽层设于下层柔性封装层下方；复合纳米纤维薄膜介电层设于上电极层与下电极层之间，设有纳米纤维的图案化微结构阵列和低弹性模量微结构阵列，提升传感器的量程、线性度和灵敏度等性能。适用于可穿戴电子、人机交互、飞机蒙皮等。

公开(公告)号：CN118010811A

公开(公告)日：2024-05-10

申请号：CN202410155027.1

申请日：2024-02-02

Applicant: 厦门大学 ,  北京智芯微电子科技有限公司

Inventor： 吴德志 ,  夏伦涛 ,  李小娟 ,  温立国 ,  朱彬 ,  沈红伟 ,  赵增侠 ,  程燕

IPC: G01N27/22

Abstract: 本发明公开了一种湿度传感器的制备方法及湿度传感器。该制备方法包括：提供一聚酰亚胺基底；采用激光对聚酰亚胺基底表面进行修饰，形成待镀基底；其中，待镀基底表面具有激光修饰电极图形；在待镀基底表面的激光修饰电极图形上定向形成金属镀层，以形成复合电极；将复合电极与金属引线连接，形成湿度传感器。本发明实施例的技术方案有利于简化湿度传感器制备工艺，降低制备成本，且可适用于大规模制造。