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公开(公告)号：CN104577160A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201510026708.9
申请日：2015-01-20
Applicant: 厦门大学
CPC classification number: Y02P70/56 , H01M8/02 , B81C1/00349 , H01M4/8875
Abstract: 基于MEMS技术的微小型直接甲酸燃料电池的制备方法，涉及直接甲酸燃料电池。采用微加工技术在硅片上制作出蛇形凸起微流道和正方形凸台阵列；将加工后的硅片装配在模具中，注入PDMS胶液，将铜箔嵌入未固化的PDMS材料中，固化后铜箔与PDMS材料一体化，得到PDMS材料的电池阴极流场板，然后将Cr溅射到流场区域和铜箔上，再将Au溅射覆盖Cr，得到带电极电池阴极流场板；采用相同制备方法得到带电极阳极流场板；将喷涂上阳极催化剂和阴极催化剂的PEM与碳纸热压制成膜电极；将切割好的金属板在浓硫酸中钝化并溅射PTFE进行防腐蚀处理，得到金属阳极压板；采用相同制备方法得到金属阴极压板；封装后即得。
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公开(公告)号：CN116893284A
公开(公告)日：2023-10-17
申请号：CN202310844483.2
申请日：2023-07-11
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明属于原子力显微镜测量技术领域，具体公开了一种原子力显微镜探针针尖修饰方法，包括如下步骤：高分子聚合物原液经合成制得初步凝固的凝胶状高分子聚合物；原子力显微镜探针放入特制的硅片夹具中微槽内，通过氧等离子清洗原子力显微镜探针，并实现针尖的亲水化处理；基于原子力显微镜的接触模式，将清洗并亲水化处理后的探针针尖压入凝胶状高分子聚合物进行修饰；将修饰后的原子力显微镜探针装入特制的硅片夹具中微槽内，加热以实现完全凝固，最终在探针针尖处包覆一层高分子聚合物薄膜。本发明实现了将高分子聚合物同成分修饰至普通的Si基探针针尖上，并可准确测试高分子聚合物与蛋白之间的粘附行为，为测定高分子聚合物和其他物质相互作用提供了方法。
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公开(公告)号：CN105800547A
公开(公告)日：2016-07-27
申请号：CN201610217363.X
申请日：2016-04-08
Applicant: 厦门大学
IPC: B81C3/00
CPC classification number: B81C3/001
Abstract: 用于化学机械抛光圆片级超薄硅片的临时黏合方法，涉及半导体工艺和微制造领域。在承载片上加工出比超薄硅片外径略大三段等径同心圆弧槽，并开设三段溢流槽，溢流槽与圆弧槽相连；采用旋涂的方法，把黏胶涂覆于圆弧槽底，用于圆弧槽定位和承载超薄硅片；对整体硅片进行热压；当超薄硅片完成后续化学机械抛光后，先后采用冷却后硫酸和双氧水混合液与热丙酮即可完全溶解并去除黏胶，实现超薄硅片与承载片的无破损、无应力分离。不仅可解决超薄硅片在化学机械抛光过程中难以夹持，易破碎的问题，同时能有效减小超薄硅片后续抛光时累积加工误差，显著降低工艺成本。
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公开(公告)号：CN109294450A
公开(公告)日：2019-02-01
申请号：CN201811414683.X
申请日：2018-11-26
Applicant: 厦门大学
Inventor： 曾毅波
IPC: C09G1/02
Abstract: 一种用于混合抛光液的机械分散方法。在无添加化学分散剂的前提下，基于混频，既中低频和高频超声相结合对于混合抛光液中磨料进行有效分散；混频频率的选择，其中混频中低频率为25～45KHz，可把数十微米至数微米的团聚磨料分散成数百纳米粒径的磨料；高频超声频率为600～900KHz，对已经通过中低频超声分散的磨料再次分散，形成单个颗粒的抛光磨料；借助搅拌，使得分散后的抛光磨料分布于混合抛光液中；针对超声换能器中变幅杆长时间的机械伸缩运动机械能转化为热能，引起混合抛光液工作温度升高，控制电磁阀，实时将循环冷却水引入超声水冷却，确保混合抛光液处于22～28℃；对混合抛光液对象界定，包括本体和容量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105800547B
公开(公告)日：2017-06-16
申请号：CN201610217363.X
申请日：2016-04-08
Applicant: 厦门大学
IPC: B81C3/00
Abstract: 用于化学机械抛光圆片级超薄硅片的临时黏合方法，涉及半导体工艺和微制造领域。在承载片上加工出比超薄硅片外径略大三段等径同心圆弧槽，并开设三段溢流槽，溢流槽与圆弧槽相连；采用旋涂的方法，把黏胶涂覆于圆弧槽底，用于圆弧槽定位和承载超薄硅片；对整体硅片进行热压；当超薄硅片完成后续化学机械抛光后，先后采用冷却后硫酸和双氧水混合液与热丙酮即可完全溶解并去除黏胶，实现超薄硅片与承载片的无破损、无应力分离。不仅可解决超薄硅片在化学机械抛光过程中难以夹持，易破碎的问题，同时能有效减小超薄硅片后续抛光时累积加工误差，显著降低工艺成本。
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公开(公告)号：CN104609363A
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201510026535.0
申请日：2015-01-20
Applicant: 厦门大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 一种大面积强疏水柔性薄膜的制备方法，涉及强疏水柔性薄膜。采用微加工方法在硅片上制备出微通道阵列；将带有微沟道阵列的硅片装配到模具底板中；在硅片表面喷上脱模剂和PVDF乳液，然后倒入PDMS胶液，抽真空并预固化；在设定温度的氧气环境中进行化学接枝处理；化学接枝处理完毕，从模具中抽取得到所述大面积强疏水柔性薄膜。通过微成型，把硅片上微沟道阵列转移到PVDF低表面能的聚合物上，获得普遍接触角为145°的强疏水薄膜，通过化学接枝处理，PVDF和PDMS复合层结合牢固，薄膜具有较佳机械强度。获得的薄膜可形成任意弯曲的柔性薄膜。
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公开(公告)号：CN109294450B
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN201811414683.X
申请日：2018-11-26
Applicant: 厦门大学
Inventor： 曾毅波
IPC: C09G1/02
Abstract: 一种用于混合抛光液的机械分散方法。在无添加化学分散剂的前提下，基于混频，既中低频和高频超声相结合对于混合抛光液中磨料进行有效分散；混频频率的选择，其中混频中低频率为25～45KHz，可把数十微米至数微米的团聚磨料分散成数百纳米粒径的磨料；高频超声频率为600～900KHz，对已经通过中低频超声分散的磨料再次分散，形成单个颗粒的抛光磨料；借助搅拌，使得分散后的抛光磨料分布于混合抛光液中；针对超声换能器中变幅杆长时间的机械伸缩运动机械能转化为热能，引起混合抛光液工作温度升高，控制电磁阀，实时将循环冷却水引入超声水冷却，确保混合抛光液处于22～28℃；对混合抛光液对象界定，包括本体和容量。
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公开(公告)号：CN104577160B
公开(公告)日：2017-07-25
申请号：CN201510026708.9
申请日：2015-01-20
Applicant: 厦门大学
IPC: H01M8/026 , H01M4/88 , H01M8/1011 , B81C1/00
CPC classification number: Y02P70/56
Abstract: 基于MEMS技术的微小型直接甲酸燃料电池的制备方法，涉及直接甲酸燃料电池。采用微加工技术在硅片上制作出蛇形凸起微流道和正方形凸台阵列；将加工后的硅片装配在模具中，注入PDMS胶液，将铜箔嵌入未固化的PDMS材料中，固化后铜箔与PDMS材料一体化，得到PDMS材料的电池阴极流场板，然后将Cr溅射到流场区域和铜箔上，再将Au溅射覆盖Cr，得到带电极电池阴极流场板；采用相同制备方法得到带电极阳极流场板；将喷涂上阳极催化剂和阴极催化剂的PEM与碳纸热压制成膜电极；将切割好的金属板在浓硫酸中钝化并溅射PTFE进行防腐蚀处理，得到金属阳极压板；采用相同制备方法得到金属阴极压板；封装后即得。
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公开(公告)号：CN104609363B
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201510026535.0
申请日：2015-01-20
Applicant: 厦门大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 一种大面积强疏水柔性薄膜的制备方法，涉及强疏水柔性薄膜。采用微加工方法在硅片上制备出微通道阵列；将带有微沟道阵列的硅片装配到模具底板中；在硅片表面喷上脱模剂和PVDF乳液，然后倒入PDMS胶液，抽真空并预固化；在设定温度的氧气环境中进行化学接枝处理；化学接枝处理完毕，从模具中抽取得到所述大面积强疏水柔性薄膜。通过微成型，把硅片上微沟道阵列转移到PVDF低表面能的聚合物上，获得普遍接触角为145°的强疏水薄膜，通过化学接枝处理，PVDF和PDMS复合层结合牢固，薄膜具有较佳机械强度。获得的薄膜可形成任意弯曲的柔性薄膜。
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