公开(公告)号：CN109142314A

公开(公告)日：2019-01-04

申请号：CN201810899286.X

申请日：2018-08-08

Applicant: 南通大学

Inventor： 杨培培 ,  李祥彪 ,  闵意 ,  陈翠萍 ,  谭志中 ,  吴建 ,  郑凯哥 ,  张航

IPC: G01N21/65

CPC classification number: G01N21/65

Abstract: 本发明涉及一种p型掺杂6H‑碳化硅晶体的无损判定方法，使用变温拉曼光谱，对待测的p型掺杂6H‑SiC晶体样品进行光谱测量，探测光的入射方向为沿SiC晶片的（0001）方向，变温测量为室温到673K温度范围，温度间隔为50K。分析对比载流子敏感的A1纵向光学模，根据其强度及峰位的变化，可以判断样品是否为p型掺杂。有益效果是采用基于光谱分析法，对p型Al掺杂6H‑碳化硅晶体的载流子浓度进行检测和分析，无需像霍尔测量一样的镀电极，对待测样品无损伤，检测过程可实现自动化和程序控制，可对出厂产品进行全面检验，也可应用于目前市场存在的2、3、4、6英寸完整晶圆产品检验。