公开(公告)号：CN119772747A

公开(公告)日：2025-04-08

申请号：CN202411844254.1

申请日：2024-12-16

Applicant: 南昌大学

Inventor： 许文虎 ,  衷会清 ,  钟敏 ,  易美荣 ,  陈建锋 ,  李小兵

IPC: B24B29/00 ,  B24B41/00 ,  B24B49/00 ,  B24B47/04 ,  B24B57/02

Abstract: 本发明公开了一种外加能场协同化学机械平坦化设备，涉及抛光技术领域，包括丝杆机架，丝杆机架上垂直设有伺服丝杆装置，伺服丝杆装置与丝杆机架呈十字连接结构，伺服丝杆装置上设有抛光头装置，伺服丝杆装置可带动抛光头装置沿水平、竖直方向移动，抛光头装置上设有待加工工件，抛光头装置下方设有抛光盘机架，抛光盘机架上设有抛光盘装置，抛光盘装置设于抛光头装置下方；还包括电化学装置、蠕动泵、超声波发生器、控制箱，本发明可以提供超声振动、电流电压、抛光头与抛光盘转动、抛光头自动加载、抛光压力与摩擦力的采集、抛光液供给、废液收集、抛光头自动调节功能，并能够自行设置抛光工艺参数，设备自动运行。