公开(公告)号：CN101776434B

公开(公告)日：2011-12-14

申请号：CN201010120904.X

申请日：2010-03-10

Applicant: 南开大学

Inventor： 黄大刚 ,  王宝光 ,  张恒 ,  方勇纯 ,  张玉东

IPC: G01B7/12 ,  G01B7/28 ,  G01B7/30 ,  G01B7/34

Abstract: 基于隧道电流反馈瞄准的小盲孔测量方法及测量装置，涉及对小孔径深盲孔的直径、圆度、锥度、直线度和表面粗糙度的测量。测量装置包括扫描隧道显微镜，带反馈的xy电动平移台和电动回转台。测量方法是：待测工件安装在扫描隧道显微镜的三维压电平移台上，分别通过对扫描隧道显微镜的电动升降柱、xy电动平移台、电动回转台以及压电平移台的调整，实现对隧道电流反馈探针的3维姿态调整和3维平移调节，用隧道电流实现纳米精度定位，用针尖的坐标作为测量点的坐标，根据电动平移台和压电平移台反馈的位置信息获取亚微米分辨率的三维坐标值，进而实现上述几何量测量。本发明可测最小孔径为0.5mm，孔深30mm。

公开(公告)号：CN101776434A

公开(公告)日：2010-07-14

申请号：CN201010120904.X

申请日：2010-03-10

Applicant: 南开大学

Inventor： 黄大刚 ,  王宝光 ,  张恒 ,  方勇纯 ,  张玉东

IPC: G01B7/12 ,  G01B7/28 ,  G01B7/30 ,  G01B7/34

Abstract: 基于隧道电流反馈瞄准的小盲孔测量方法及测量装置，涉及对小孔径深盲孔的直径、圆度、锥度、直线度和表面粗糙度的测量。测量装置包括扫描隧道显微镜，带反馈的xy电动平移台和电动回转台。测量方法是：待测工件安装在扫描隧道显微镜的三维压电平移台上，分别通过对扫描隧道显微镜的电动升降柱、xy电动平移台、电动回转台以及压电平移台的调整，实现对隧道电流反馈探针的3维姿态调整和3维平移调节，用隧道电流实现纳米精度定位，用针尖的坐标作为测量点的坐标，根据电动平移台和压电平移台反馈的位置信息获取亚微米分辨率的三维坐标值，进而实现上述几何量测量。本发明可测最小孔径为0.5mm，孔深30mm。