公开(公告)号：CN112505107A

公开(公告)日：2021-03-16

申请号：CN202011472415.0

申请日：2020-12-14

Applicant: 南京大学

Inventor： 李爱东 ,  任强 ,  陈佶安 ,  房佳斌 ,  韩民

IPC: G01N27/12 ,  B82Y15/00 ,  B82Y40/00 ,  C23C16/455 ,  C23C16/02 ,  C23C16/40 ,  C23C14/35 ,  C23C14/20 ,  C23C28/00 ,  C23C14/22 ,  C23C14/14

Abstract: 本发明公开了一种柔性超高灵敏度宽量程氢气传感器及其制备方法，属于氢气传感器领域，解决了氢气传感器的灵敏度低、检测量程窄、选择性差、工作温度高等缺点。本发明的传感器包括从上到下依次为导电电极层、敏感层、柔性衬底层；所述敏感层为MOx薄膜和Pd纳米粒子，所述Pd纳米粒子覆盖在MOx薄膜上；在柔性聚合物基底上利用原子层沉积和团簇束流沉积技术，将传统金属氧化物型氢气传感器和基于量子电导型氢气传感器结合起来，获得了一种柔性超高灵敏度宽量程、可低温工作的氢气传感器。

公开(公告)号：CN112505107B

公开(公告)日：2022-10-11

申请号：CN202011472415.0

申请日：2020-12-14

Applicant: 南京大学

Inventor： 李爱东 ,  任强 ,  陈佶安 ,  房佳斌 ,  韩民

IPC: G01N27/12 ,  B82Y15/00 ,  B82Y40/00 ,  C23C16/455 ,  C23C16/02 ,  C23C16/40 ,  C23C14/35 ,  C23C14/20 ,  C23C28/00 ,  C23C14/22 ,  C23C14/14

Abstract: 本发明公开了一种柔性超高灵敏度宽量程氢气传感器及其制备方法，属于氢气传感器领域，解决了氢气传感器的灵敏度低、检测量程窄、选择性差、工作温度高等缺点。本发明的传感器包括从上到下依次为导电电极层、敏感层、柔性衬底层；所述敏感层为MOx薄膜和Pd纳米粒子，所述Pd纳米粒子覆盖在MOx薄膜上；在柔性聚合物基底上利用原子层沉积和团簇束流沉积技术，将传统金属氧化物型氢气传感器和基于量子电导型氢气传感器结合起来，获得了一种柔性超高灵敏度宽量程、可低温工作的氢气传感器。