公开(公告)号：CN114488718A

公开(公告)日：2022-05-13

申请号：CN202210160748.2

申请日：2022-02-22

Applicant: 南京大学

Inventor： 徐永兵 ,  周建 ,  严羽 ,  陈笑 ,  钟文彬 ,  陆显阳 ,  何亮 ,  黎遥

IPC: G03F7/20 ,  G03F7/16 ,  G03F7/30 ,  G03F7/38 ,  G03F7/40 ,  G03F7/42

Abstract: 本发明公开了一种基于负性光刻胶极紫外曝光的方法，1)在超净间黄光区通过旋涂，烘烤，去边缘残胶的方式将负性光刻胶均匀涂敷在晶圆衬底上，并将特制的硬掩模版贴合在晶圆衬底表面；2)将制备好的晶圆衬底放置在极紫外的曝光装置中，并通过积累曝光时间来达到负性光刻胶所需要的曝光剂量；3)在黄光区将曝光好的晶圆衬底先进行后烘烤，然后在丙二醇甲醚醋酸酯和异丙醇溶液中以交替浸泡的方式进行显影，最后将显影好的样品放置于干净的异丙醇中进行漂洗，用氮气吹干既可。在显微下观察曝光是否充分，有无过曝现象。

公开(公告)号：CN113835313A

公开(公告)日：2021-12-24

申请号：CN202111325361.X

申请日：2021-11-10

Applicant: 南京大学

Inventor： 徐永兵 ,  陈笑 ,  黎遥 ,  严羽 ,  周建 ,  钟文彬 ,  何亮 ,  陆显扬

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种基于高次谐波的极紫外光刻曝光方法，1)使用飞秒级的强场激光与工作介质相互作用产生高次谐波；2)反应产生的高次谐波复色光通过过滤选取谐波级次，即用于测试的波长所在的谐波级次，从而得到测试波长的纯净极紫外光；3)极紫外光通过狭缝进入曝光装置，对涂敷光刻胶的晶圆样品进行曝光，将掩模版的图案转移到样品表面，通过累积曝光时间来达到光刻胶所需的曝光剂量。所述用于曝光的极紫外光基于高次谐波技术产生。纯净的极紫外光进入曝光装置，使涂有光刻胶的硅片曝光，通过累积曝光时间的方式达到光刻胶所需的曝光剂量。

公开(公告)号：CN114221203B

公开(公告)日：2023-11-03

申请号：CN202111160845.3

申请日：2021-09-30

Applicant: 南京大学

Inventor： 黎遥 ,  钟文彬 ,  徐永兵 ,  何亮 ,  陈笑 ,  陆显扬 ,  严羽 ,  周建

IPC: H01S3/034 ,  H01S3/036 ,  H01S3/10

Abstract: 一种输出长时间稳定的极紫外脉冲光源装置，包括高功率飞秒激光器、差分气体作用装置和激光阻断装置；其中，高功率飞秒激光器发出飞秒级别的超短脉冲激光，经过平面反射镜和激光聚焦镜，聚焦于差分气体作用装置内；反应气体经过压力控制后连续注入到长度可调的气体盒子内并与激光相互作用产生高次谐波，辐射出EUV光；气体盒子被安装在差分腔室中，与外真空腔形成差分，有效维持了真空腔内的真空度；反应产生的EUV光和未转换的入射激光进入激光阻断装置，入射激光被衰减阻断，得到纯净的EUV光。

公开(公告)号：CN114509924A

公开(公告)日：2022-05-17

申请号：CN202210167231.6

申请日：2022-02-23

Applicant: 南京大学

Inventor： 徐永兵 ,  钟文彬 ,  黎遥 ,  陈笑 ,  侯鉴波 ,  何亮 ,  严羽 ,  陆显扬

IPC: G03F7/20 ,  G01J3/00

Abstract: 一种激光等离子体方式的极紫外光源发生及表征装置，包含高功率纳秒激光器、极紫外光源发生器、掠入射平场光谱仪、极紫外能量探测器和离子碎屑探测器；其中，高功率纳秒激光器发出高能量短脉冲激光，短脉冲激光经过平面反射镜和真空窗片进入极紫外光源发生器，随后短脉冲激光在发生器真空腔内被透镜聚焦并打到靶材上；靶材在短脉冲激光的作用下被加热、蒸发和电离，最终形成高温致密的等离子体，等离子体持续吸收激光能量并向外辐射极紫外光；掠入射平场光谱仪和极紫外能量探测器都与极紫外光源发生器输出窗口相连，分别实现对光源光谱的探测和对光源带内功率的定量测量。

公开(公告)号：CN114442441A

公开(公告)日：2022-05-06

申请号：CN202210166835.9

申请日：2022-02-23

Applicant: 南京大学

Inventor： 徐永兵 ,  陈笑 ,  黎遥 ,  钟文彬 ,  严羽 ,  侯鉴波 ,  何亮 ,  陆显扬

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种激光等离子体极紫外光源靶材优化方法，通过电子束蒸发的方式在产生激光等离子体的靶材衬底上生长锡薄膜，形成有限质量的固体薄膜靶，通过控制锡层的厚度来控制激光单次作用所消耗的锡量；当高能量脉冲激光与靶材作用产生等离子体时，通过控制薄膜靶的锡量进而优化极紫外光产生的效率和碎屑的产生。通过控制薄膜厚度调整靶材表面生长的锡燃料的量，使其在单次激光脉冲下，光斑作用下的锡可以充分利用，进而可以有效提高激光转化效率和靶材工作物质利用率，并减少碎屑对光学系统的污染。

公开(公告)号：CN114221203A

公开(公告)日：2022-03-22

申请号：CN202111160845.3

申请日：2021-09-30

Applicant: 南京大学

Inventor： 黎遥 ,  钟文彬 ,  徐永兵 ,  何亮 ,  陈笑 ,  陆显扬 ,  严羽 ,  周建

IPC: H01S3/034 ,  H01S3/036 ,  H01S3/10

Abstract: 一种输出长时间稳定的极紫外脉冲光源装置，包括高功率飞秒激光器、差分气体作用装置和激光阻断装置；其中，高功率飞秒激光器发出飞秒级别的超短脉冲激光，经过平面反射镜和激光聚焦镜，聚焦于差分气体作用装置内；反应气体经过压力控制后连续注入到长度可调的气体盒子内并与激光相互作用产生高次谐波，辐射出EUV光；气体盒子被安装在差分腔室中，与外真空腔形成差分，有效维持了真空腔内的真空度；反应产生的EUV光和未转换的入射激光进入激光阻断装置，入射激光被衰减阻断，得到纯净的EUV光。