一种基于ALD技术的表面氮改性二氧化钛纳米颗粒的可见光催化剂的制备方法

    公开(公告)号:CN106268903B

    公开(公告)日:2018-08-24

    申请号:CN201610582290.4

    申请日:2016-07-22

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于ALD技术的表面氮改性二氧化钛纳米颗粒的可见光催化剂的制备方法,首先将二氧化钛粉末转移入ALD反应室,对其表面进行超薄TiN薄膜的沉积包裹,包裹参数为:反应室温度100‑500 oC;钛源:四氯化钛、四二甲氨基钛或异丙醇钛;氮源:氨气或者氨气等离子体;载气:钛源使用高纯氮气或者氩气作为载气,流量为50‑200 sccm;氮源使用高纯氩气作为载气,流量为50‑200 sccm;脉冲和清洗时间:钛源脉冲为0.1‑10 s;每次无机源脉冲之后都紧接着用高纯氮气清洗2‑60 s;氮源脉冲为5‑60s,紧接着用高纯氮气清洗2‑60 s,冲掉反应副产物和残留的反应源。该方法简单易行,产品的可见光催化性能显著增强。

    一种基于ALD技术的表面氮改性二氧化钛纳米颗粒的可见光催化剂的制备方法

    公开(公告)号:CN106268903A

    公开(公告)日:2017-01-04

    申请号:CN201610582290.4

    申请日:2016-07-22

    Applicant: 南京大学

    CPC classification number: B01J27/24 B01J35/004 B01J37/349

    Abstract: 本发明公开了一种基于ALD技术的表面氮改性二氧化钛纳米颗粒的可见光催化剂的制备方法,首先将二氧化钛粉末转移入ALD反应室,对其表面进行超薄TiN薄膜的沉积包裹,包裹参数为:反应室温度100-500 oC;钛源:四氯化钛、四二甲氨基钛或异丙醇钛;氮源:氨气或者氨气等离子体;载气:钛源使用高纯氮气或者氩气作为载气,流量为50-200 sccm;氮源使用高纯氩气作为载气,流量为50-200 sccm;脉冲和清洗时间:钛源脉冲为0.1-10 s;每次无机源脉冲之后都紧接着用高纯氮气清洗2-60 s;氮源脉冲为5-60s,紧接着用高纯氮气清洗2-60 s,冲掉反应副产物和残留的反应源。该方法简单易行,产品的可见光催化性能显著增强。

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