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公开(公告)号:CN110983288A
公开(公告)日:2020-04-10
申请号:CN201911220311.8
申请日:2019-12-03
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开了一种基于原子层沉积方法的层间剥离方法及其在纳米复合材料制备上的应用,属于纳米功能复合材料制备领域,可以同时实现层状材料的层间剥离和纳米复合粉末材料的制备,获得的材料比表面积明显改善。本发明选用层状材料粉末作为担体;在所述担体上利用原子层沉积(ALD)技术沉积包覆层,得到复合粉末样品;将ALD沉积获得的复合粉末样品进行热处理退火,所述包覆层结晶把层状材料层间撑开剥离,获得高比表面的复合层状纳米材料;重复步骤上述步骤实现基于ALD技术对层状材料的多次层间剥离,进一步增加复合层状纳米粉末材料的比表面积。
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公开(公告)号:CN106268903B
公开(公告)日:2018-08-24
申请号:CN201610582290.4
申请日:2016-07-22
Applicant: 南京大学
IPC: B01J27/24
Abstract: 本发明公开了一种基于ALD技术的表面氮改性二氧化钛纳米颗粒的可见光催化剂的制备方法,首先将二氧化钛粉末转移入ALD反应室,对其表面进行超薄TiN薄膜的沉积包裹,包裹参数为:反应室温度100‑500 oC;钛源:四氯化钛、四二甲氨基钛或异丙醇钛;氮源:氨气或者氨气等离子体;载气:钛源使用高纯氮气或者氩气作为载气,流量为50‑200 sccm;氮源使用高纯氩气作为载气,流量为50‑200 sccm;脉冲和清洗时间:钛源脉冲为0.1‑10 s;每次无机源脉冲之后都紧接着用高纯氮气清洗2‑60 s;氮源脉冲为5‑60s,紧接着用高纯氮气清洗2‑60 s,冲掉反应副产物和残留的反应源。该方法简单易行,产品的可见光催化性能显著增强。
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公开(公告)号:CN106268903A
公开(公告)日:2017-01-04
申请号:CN201610582290.4
申请日:2016-07-22
Applicant: 南京大学
IPC: B01J27/24
CPC classification number: B01J27/24 , B01J35/004 , B01J37/349
Abstract: 本发明公开了一种基于ALD技术的表面氮改性二氧化钛纳米颗粒的可见光催化剂的制备方法,首先将二氧化钛粉末转移入ALD反应室,对其表面进行超薄TiN薄膜的沉积包裹,包裹参数为:反应室温度100-500 oC;钛源:四氯化钛、四二甲氨基钛或异丙醇钛;氮源:氨气或者氨气等离子体;载气:钛源使用高纯氮气或者氩气作为载气,流量为50-200 sccm;氮源使用高纯氩气作为载气,流量为50-200 sccm;脉冲和清洗时间:钛源脉冲为0.1-10 s;每次无机源脉冲之后都紧接着用高纯氮气清洗2-60 s;氮源脉冲为5-60s,紧接着用高纯氮气清洗2-60 s,冲掉反应副产物和残留的反应源。该方法简单易行,产品的可见光催化性能显著增强。
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