公开(公告)号：CN116722834A

公开(公告)日：2023-09-08

申请号：CN202310808881.9

申请日：2023-07-03

Applicant: 南京大学

Inventor： 胡小鹏 ,  苏雅雯 ,  叶志霖 ,  祝世宁

IPC: H03H3/08 ,  H03H9/145 ,  H03H9/25 ,  H10N30/06 ,  H10N30/045 ,  H10N30/082 ,  H10N30/093

Abstract: 本发明公开一种基于周期性畴结构的声表面波器件及其制备方法，包括：利用光刻法在压电材料晶体的正z面和压电材料晶体的反z面制备极化电极轮廓；利用高温胶带分割压电材料晶体的正z面和压电材料晶体的反z面，获得不同极化区域；在极化电极轮廓上镀上第一金属电极；撕去高温胶带，得到极化电极结构；利用极化电极结构，制备有部分区域畴翻转结构的压电材料晶体，最终得到基于畴结构激发的声表面波器件。本申请先对钽酸锂的压电材料晶体或铌酸锂的压电材料晶体进行极化，然后通过剥离转移到基底上，并在压电材料晶体的表面镀上电极，以制备声表面波器件，本发明制备的平板电极更利于控制功耗。

公开(公告)号：CN116722834B

公开(公告)日：2024-10-18

申请号：CN202310808881.9

申请日：2023-07-03

Applicant: 南京大学

Inventor： 胡小鹏 ,  苏雅雯 ,  叶志霖 ,  祝世宁

IPC: H03H3/08 ,  H03H9/145 ,  H03H9/25 ,  H10N30/06 ,  H10N30/045 ,  H10N30/082 ,  H10N30/093

Abstract: 本发明公开一种基于周期性畴结构的声表面波器件及其制备方法，包括：利用光刻法在压电材料晶体的正z面和压电材料晶体的反z面制备极化电极轮廓；利用高温胶带分割压电材料晶体的正z面和压电材料晶体的反z面，获得不同极化区域；在极化电极轮廓上镀上第一金属电极；撕去高温胶带，得到极化电极结构；利用极化电极结构，制备有部分区域畴翻转结构的压电材料晶体，最终得到基于畴结构激发的声表面波器件。本申请先对钽酸锂的压电材料晶体或铌酸锂的压电材料晶体进行极化，然后通过剥离转移到基底上，并在压电材料晶体的表面镀上电极，以制备声表面波器件，本发明制备的平板电极更利于控制功耗。