基于数值化正交变换的任意孔径光学元件面形重构方法

    公开(公告)号:CN113010841B

    公开(公告)日:2024-02-23

    申请号:CN202110178735.3

    申请日:2021-02-08

    Abstract: 本发明公开了基于数值化正交变换的任意孔径光学元件面形重构方法,包括:获得任意孔径被测光学元件的面形数据以及各个面形数据点的位置;选用相应孔径形状的正交基函数,对正交基函数进行数值化正交变换;将变换后得到的正交多项式展开式表示为矩阵形式,数值化变换矩阵为M;引入中间矩阵Q;计算数值化变换矩阵M和数值化正交多项式数据矩阵F;将基函数线性组合形式表示为矩阵形式W=Fa,根据模式化法计算面形数据矩阵W,计算面形系数矩阵a;由面形系数矩阵a对被测光学元件面形进行分析。本发明能够用于任意孔径形状且适应离散数据点的光学元件面形检测与分析,具有通用性和一般性。(56)对比文件巫玲.相对角差法重建大口径平面光学元件面形《.光学学报》.2019,第39卷(第06期),312-319.张磊.光学自由曲面子孔径拼接干涉检测技术《.CNKI博士学位论文全文数据库》.2017,(第02期),A005-41.杨辉.某光学自由曲面棱镜超精密加工技术研究《.航空精密制造技术》.2019,第55卷(第05期),1-6.Jingfei Ye等.Modal wavefrontestimation from its slopes by numericalorthogonal transformation method overgeneral shaped aperture《.Optics Express》.2015,第23卷(第20期),1-13.

    基于数值化正交变换的任意孔径光学元件面形重构方法

    公开(公告)号:CN113010841A

    公开(公告)日:2021-06-22

    申请号:CN202110178735.3

    申请日:2021-02-08

    Abstract: 本发明公开了基于数值化正交变换的任意孔径光学元件面形重构方法,包括:获得任意孔径被测光学元件的面形数据以及各个面形数据点的位置;选用相应孔径形状的正交基函数,对正交基函数进行数值化正交变换;将变换后得到的正交多项式展开式表示为矩阵形式,数值化变换矩阵为M;引入中间矩阵Q;计算数值化变换矩阵M和数值化正交多项式数据矩阵F;将基函数线性组合形式表示为矩阵形式W=Fa,根据模式化法计算面形数据矩阵W,计算面形系数矩阵a;由面形系数矩阵a对被测光学元件面形进行分析。本发明能够用于任意孔径形状且适应离散数据点的光学元件面形检测与分析,具有通用性和一般性。

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