公开(公告)号：CN103048889A

公开(公告)日：2013-04-17

申请号：CN201210551511.3

申请日：2012-12-18

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 易翔宇 ,  王新兵 ,  左都罗 ,  卢宏 ,  朱海红 ,  陆培祥

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明公开了一种基于圆偏振激光驱动的极紫外光刻光源产生系统，包括CO2激光器、偏振转换组件、激光放大器以及极紫外光产生与收集装置，其中：所述CO2激光器用于产生线偏振的主振激光束，所述偏振转换组件用于将主振激光束转换为圆偏振激光，该圆偏振激光经由激光放大器功率放大后，输出至极紫外光产生与收集装置；所述极紫外光产生与收集装置用于将来自所述功率放大器的激光聚焦照射至Sn靶材处以激发等离子体，并对该等离子体所产生的极紫外辐射予以收集。通过本发明，能够在相对较低的激光功率和脉宽水平下，也能以较高的转换效率来获得极紫外光，而无需构建复杂的主振放大系统，由此能够以低成本、便于操控的方式来获得光刻用极紫外光源。

公开(公告)号：CN103048889B

公开(公告)日：2015-05-20

申请号：CN201210551511.3

申请日：2012-12-18

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 易翔宇 ,  王新兵 ,  左都罗 ,  卢宏 ,  朱海红 ,  陆培祥

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明公开了一种基于圆偏振激光驱动的极紫外光刻光源产生系统，包括CO2激光器、偏振转换组件、激光放大器以及极紫外光产生与收集装置，其中：所述CO2激光器用于产生线偏振的主振激光束，所述偏振转换组件用于将主振激光束转换为圆偏振激光，该圆偏振激光经由激光放大器功率放大后，输出至极紫外光产生与收集装置；所述极紫外光产生与收集装置用于将来自所述功率放大器的激光聚焦照射至Sn靶材处以激发等离子体，并对该等离子体所产生的极紫外辐射予以收集。通过本发明，能够在相对较低的激光功率和脉宽水平下，也能以较高的转换效率来获得极紫外光，而无需构建复杂的主振放大系统，由此能够以低成本、便于操控的方式来获得光刻用极紫外光源。