公开(公告)号：CN104862670A

公开(公告)日：2015-08-26

申请号：CN201510226286.X

申请日：2015-05-06

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 许剑锋 ,  陶俭 ,  陈肖 ,  郭峰 ,  张伟 ,  杨威 ,  许光立 ,  方舒畅

IPC: C23C16/448

Abstract: 一种热丝拉紧装置，属于机械滑动部件与装置，用于有效地防止热丝因加热而产生的伸长下垂。本发明包括盒体、滑轨，滑动板、支撑板、上端盖、左端盖、中间连接板、左端连接板、钼棒螺杆，滑轨、滑动板以及固定在滑动板上方的支撑板共同构成了滑动系统；使用时，所述左端盖通过螺栓与热丝沉积系统的腔体外壁连接，左端盖的左侧面朝向热丝沉积系统内腔。本发明利用简单的弹簧、滑道等机械部件以及铜片的温度特性，简单有效的实现了HFCVD系统中热丝在加热过程中自动拉紧的目的，不仅保证衬底材料附近温度场的稳定，而且提高了热丝的寿命。

公开(公告)号：CN104862670B

公开(公告)日：2017-04-19

申请号：CN201510226286.X

申请日：2015-05-06

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 许剑锋 ,  陶俭 ,  陈肖 ,  郭峰 ,  张伟 ,  杨威 ,  许光立 ,  方舒畅

IPC: C23C16/448

Abstract: 一种热丝拉紧装置，属于机械滑动部件与装置，用于有效地防止热丝因加热而产生的伸长下垂。本发明包括盒体、滑轨，滑动板、支撑板、上端盖、左端盖、中间连接板、左端连接板、钼棒螺杆，滑轨、滑动板以及固定在滑动板上方的支撑板共同构成了滑动系统；使用时，所述左端盖通过螺栓与热丝沉积系统的腔体外壁连接，左端盖的左侧面朝向热丝沉积系统内腔。本发明利用简单的弹簧、滑道等机械部件以及铜片的温度特性，简单有效的实现了HFCVD系统中热丝在加热过程中自动拉紧的目的，不仅保证衬底材料附近温度场的稳定，而且提高了热丝的寿命。