金属弹性构件、微机械装置、微机械装置的制造方法、摆动控制装置以及摆动控制方法

    公开(公告)号:CN103803478B

    公开(公告)日:2017-04-12

    申请号:CN201310552407.0

    申请日:2013-11-08

    Abstract: 本发明提供一种金属弹性构件,其用于微机械装置(1)的梁部(4),该微机械装置(1)包含至少一个可动部(3)、固定部(2)、从两侧将可动部(3)支承于固定部(2)的一对梁部(4),能够使可动部绕以梁部(4)为扭转旋转轴的轴心(P)摆动,其中,金属弹性构件包含:规定长度的金属棒状部(4a);固定侧垫片(4b),其形成于金属棒状部(4a)的一端侧且固定于固定部(2);以及可动侧垫片(4c),其形成于金属棒状部(4a)的另一端侧且固定于可动部(3),至少金属棒状部(4a)使用除机械加工法以外的物理或化学加工法而成形为截面积1mm2以下,且使可动部(3)在频率为150Hz~500Hz的范围内摆动。

    偏转装置、光扫描装置以及扫描式测距装置

    公开(公告)号:CN103852888B

    公开(公告)日:2017-10-13

    申请号:CN201310628540.X

    申请日:2013-11-29

    CPC classification number: G02B26/101 G01S7/4817 G01S17/42 G02B26/085

    Abstract: 本发明提供一种偏转装置。扫描式测距装置(10)由投受光部(20)和将从投受光部(20)射出的测定光从光学窗(12)向外部进行偏转反射的偏转装置构成,偏转装置具备:第一偏转机构(30),该第一偏转机构(30)具备能够环绕第一轴心(P1)进行摇摆的可动部(3)、和摇摆驱动可动部(3)的驱动部;第二偏转机构(40),其按照环绕与第一轴心(P1)正交的第二轴心(P2)的方式对第一偏转机构(30)进行旋转驱动;以及非接触供电部(50),该非接触供电部具备配置为伴随第二偏转机构(40)的旋转而环绕第二轴心(P2)进行旋转的第二线圈(54)、和在与第二线圈(54)共用的轴心上相对配置的第一线圈(52)。

    偏转装置、光扫描装置以及扫描式测距装置

    公开(公告)号:CN103852888A

    公开(公告)日:2014-06-11

    申请号:CN201310628540.X

    申请日:2013-11-29

    CPC classification number: G02B26/101 G01S7/4817 G01S17/42 G02B26/085

    Abstract: 本发明提供一种偏转装置。扫描式测距装置(10)由投受光部(20)和将从投受光部(20)射出的测定光从光学窗(12)向外部进行偏转反射的偏转装置构成,偏转装置具备:第一偏转机构(30),该第一偏转机构(30)具备能够环绕第一轴心(P1)进行摇摆的可动部(3)、和摇摆驱动可动部(3)的驱动部;第二偏转机构(40),其按照环绕与第一轴心(P1)正交的第二轴心(P2)的方式对第一偏转机构(30)进行旋转驱动;以及非接触供电部(50),该非接触供电部具备配置为伴随第二偏转机构(40)的旋转而环绕第二轴心(P2)进行旋转的第二线圈(54)、和在与第二线圈(54)共用的轴心上相对配置的第一线圈(52)。

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