偏转装置、光扫描装置以及扫描式测距装置

    公开(公告)号:CN103852888B

    公开(公告)日:2017-10-13

    申请号:CN201310628540.X

    申请日:2013-11-29

    CPC classification number: G02B26/101 G01S7/4817 G01S17/42 G02B26/085

    Abstract: 本发明提供一种偏转装置。扫描式测距装置(10)由投受光部(20)和将从投受光部(20)射出的测定光从光学窗(12)向外部进行偏转反射的偏转装置构成,偏转装置具备:第一偏转机构(30),该第一偏转机构(30)具备能够环绕第一轴心(P1)进行摇摆的可动部(3)、和摇摆驱动可动部(3)的驱动部;第二偏转机构(40),其按照环绕与第一轴心(P1)正交的第二轴心(P2)的方式对第一偏转机构(30)进行旋转驱动;以及非接触供电部(50),该非接触供电部具备配置为伴随第二偏转机构(40)的旋转而环绕第二轴心(P2)进行旋转的第二线圈(54)、和在与第二线圈(54)共用的轴心上相对配置的第一线圈(52)。

    偏转装置、光扫描装置以及扫描式测距装置

    公开(公告)号:CN103852888A

    公开(公告)日:2014-06-11

    申请号:CN201310628540.X

    申请日:2013-11-29

    CPC classification number: G02B26/101 G01S7/4817 G01S17/42 G02B26/085

    Abstract: 本发明提供一种偏转装置。扫描式测距装置(10)由投受光部(20)和将从投受光部(20)射出的测定光从光学窗(12)向外部进行偏转反射的偏转装置构成,偏转装置具备:第一偏转机构(30),该第一偏转机构(30)具备能够环绕第一轴心(P1)进行摇摆的可动部(3)、和摇摆驱动可动部(3)的驱动部;第二偏转机构(40),其按照环绕与第一轴心(P1)正交的第二轴心(P2)的方式对第一偏转机构(30)进行旋转驱动;以及非接触供电部(50),该非接触供电部具备配置为伴随第二偏转机构(40)的旋转而环绕第二轴心(P2)进行旋转的第二线圈(54)、和在与第二线圈(54)共用的轴心上相对配置的第一线圈(52)。

    金属弹性构件、微机械装置、微机械装置的制造方法、摆动控制装置以及摆动控制方法

    公开(公告)号:CN103803478B

    公开(公告)日:2017-04-12

    申请号:CN201310552407.0

    申请日:2013-11-08

    Abstract: 本发明提供一种金属弹性构件,其用于微机械装置(1)的梁部(4),该微机械装置(1)包含至少一个可动部(3)、固定部(2)、从两侧将可动部(3)支承于固定部(2)的一对梁部(4),能够使可动部绕以梁部(4)为扭转旋转轴的轴心(P)摆动,其中,金属弹性构件包含:规定长度的金属棒状部(4a);固定侧垫片(4b),其形成于金属棒状部(4a)的一端侧且固定于固定部(2);以及可动侧垫片(4c),其形成于金属棒状部(4a)的另一端侧且固定于可动部(3),至少金属棒状部(4a)使用除机械加工法以外的物理或化学加工法而成形为截面积1mm2以下,且使可动部(3)在频率为150Hz~500Hz的范围内摆动。

    金属弹性部件及微小机械装置

    公开(公告)号:CN104865698A

    公开(公告)日:2015-08-26

    申请号:CN201410359937.8

    申请日:2014-07-25

    Inventor: 浅田规裕

    CPC classification number: F16F1/14 G02B26/0841 G02B26/085 H02K33/02

    Abstract: 本发明提供一种高效地对因内部摩擦产生的发热进行散热,从而能够长期稳定地进行工作的金属弹性部件及微小机械装置,该微小机械装置使用了该金属弹性部件。该金属弹性部件被用于微小机械装置的梁部(4),该微小机械装置包括至少一个可动部(3)、固定部(2)、从两侧将可动部(3)支承在固定部(2)上的一对梁部(4),且能够绕以梁部(4)为扭转旋转轴的轴心(P)而使可动部(3)摆动,其中,所述金属弹性部件包括使可动部(3)摆动的规定长度的金属棒状部(4a);形成在金属棒状部的一端侧且固定在固定部(2)上的固定侧焊盘(4b),至少金属棒状部使用除机械加工方法以外的物理性或化学性的加工方法而被成形为截面积为1mm2以下,并且在与扭转旋转轴(P)交叉的方向上延伸形成有多个突起(4d)。

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