公开(公告)号：CN115020171A

公开(公告)日：2022-09-06

申请号：CN202210532661.3

申请日：2022-05-10

Applicant: 北方夜视科技(南京)研究院有限公司

Inventor： 邱祥彪 ,  金戈 ,  韦飞 ,  陈波 ,  王健 ,  赵胜 ,  张振 ,  彭松武 ,  张宏吉 ,  林焱剑

IPC: H01J31/50 ,  H01J29/02

Abstract: 本发明提供一种高稳定性、高探测效率紫外光及X射线探测用微通道板及其制备方法，在微通道板的基础上，在微通道板输入面及通道一定深度处镀制具有高光电转化效率的膜层材料作为反射光电阴极；在镀制光电阴极材料之后，使用原子层沉积技术制备一层超薄厚度均匀的致密保护层，保护层材料包括氧化硅、氧化铪、氧化铝、氧化钛、氮化硅等，具有较强的阻隔水汽的能力，且具有一定的二次电子发射能力，降低对于MCP本身性能的影响。根据上述方法制备的MCP，可广泛应用于开放式结构探测器及相关设备中，能够承受多次真空与大气环境转换而不发生明显的变化，极大的拓展了卤化物等易受潮湿空气影响的材料作为MCP输入面反射式光电阴极的应用范围。