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发明公开
用于离子注入机的具有双向能量控制特性的高压直流电源审中-实审

公开(公告)号：CN119519392A

公开(公告)日：2025-02-25

申请号：CN202411502892.5

申请日：2024-10-25

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 尹进峰 , 陈辉 , 林萍 , 高瑞松 , 李进 , 丰冠会 , 徐志华 , 郭晓杰

IPC: H02M1/32 , H02M3/06 , H02J1/00

Abstract: 本发明公开了一种用于离子注入机的具有双向能量控制特性的高压直流电源，包括电压源、电流源和限流单元；所述电流源与限流单元串联后，整体再与电压源并联以对外输出。本发明的具有双向能量控制特性的高压直流电源，能够有效的通过电源内部的限流电阻设计，从而使得电源具有双向电流输出能力，能够实现输出能量和吸收能量的双向功能特性；本发明可以灵活设定电流源电流或电压源电压；电流源可以根据需要外部受控调节电流；电压源可以根据需要外部受控调节电压。

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