公开(公告)号：CN1333257C

公开(公告)日：2007-08-22

申请号：CN200410009349.8

申请日：2004-07-16

Applicant: 北京大学

Inventor： 杨楷 ,  周健 ,  闫桂珍

IPC: G01P3/00

Abstract: 本发明提供了一种射流角速度传感器及其制备工艺，属于微电子机械系统设计及加工领域。该传感器包括两个振动腔、四个整流腔和一个检测腔，振动腔内气体被驱动可循环，在每个振动腔两侧分别设有两个整流腔，被驱动的气体经整流腔流入检测腔，循环气体在检测腔内始终沿一个方向流动，所述检测腔内对称地放置两根热敏电阻丝，并将这两根热敏电阻丝接入一个惠斯登电桥，所述整流腔为狼牙棒流体二极管，该流体二极管是由若干规律排列的狼牙棒形挡板组成。本发明射流角速度传感器的尺度可缩小到几个毫米，真正实现了射流角速度传感器的微型化，大大扩展了射流角速度传感器的应用范围。

公开(公告)号：CN1595169A

公开(公告)日：2005-03-16

申请号：CN200410009349.8

申请日：2004-07-16

Applicant: 北京大学

Inventor： 杨楷 ,  周健 ,  阎桂珍

IPC: G01P3/00

Abstract: 本发明提供了一种射流角速度传感器及其制备工艺，属于微电子机械系统设计及加工领域。该传感器包括两个振动腔、四个整流腔和一个检测腔，振动腔内气体被驱动可循环，在每个振动腔两侧分别设有两个整流腔，被驱动的气体经整流腔流入检测腔，循环气体在检测腔内始终沿一个方向流动，所述检测腔内对称地放置两根热敏电阻丝，并将这两根热敏电阻丝接入一个惠斯登电桥，所述整流腔为狼牙棒流体二极管，该流体二极管是由若干规律排列的狼牙棒形挡板组成。本发明射流角速度传感器的尺度可缩小到几个毫米，真正实现了射流角速度传感器的微型化，大大扩展了射流角速度传感器的应用范围。

公开(公告)号：CN2722252Y

公开(公告)日：2005-08-31

申请号：CN200420009040.4

申请日：2004-05-20

Applicant: 北京大学

Inventor： 周健 ,  闫桂珍 ,  杨楷

IPC: G01P3/00

Abstract: 本实用新型公开了一种微型射流角速率传感器，包括有底座、盖体、两热敏电阻、谐振驱动器和检测热敏电阻用的检测电路，底座和薄膜盖之间形成空腔，空腔被分为振动腔、检测腔、两个对称的微型射流泵、集流腔和尾气腔，振动腔的气体出口即为微型射流泵的气体入口，微型射流泵与集流腔相连，集流腔与检测腔相通，检测腔的气体通过尾气腔流回振动腔；两热敏电阻对称固定在底座上，并接入检测电路中；振动腔部分的盖体为薄膜层，谐振驱动器固定在薄膜盖层。本实用新型的玻璃片和硅片能够采用MEMS(Micro－Electro－Machanical－System，微机电系统)工艺来制作，具有微型化、可批量生产、成本低、结构简单、无可动部件、易于与驱动以及信号检测电路实现单片集成等优点。