一种硅通孔的制备方法和硅通孔结构

    公开(公告)号:CN119673869A

    公开(公告)日:2025-03-21

    申请号:CN202510186727.1

    申请日:2025-02-20

    Applicant: 北京大学

    Inventor: 陈浪 王玮 张弛

    Abstract: 本申请提供了一种硅通孔的制备方法和硅通孔结构,属于半导体技术领域,旨在实现硅通孔的金属填充的高填充率与应力控制之间的平衡,所述方法包括:在基片的第一表面上进行刻蚀,得到待填充的盲孔,所述盲孔的直径小于或等于1微米;对所述盲孔的开口处位置进行各向同性刻蚀,使所述盲孔的侧壁与所述第一表面的交界位置为倒角结构;向所述盲孔中填充第一金属材料,得到硅通孔。

    一种胎儿心率信号的数据质量识别纠正方法和系统

    公开(公告)号:CN115089151A

    公开(公告)日:2022-09-23

    申请号:CN202210652017.X

    申请日:2022-06-09

    Applicant: 北京大学

    Abstract: 本发明公开一种胎儿心率信号的数据质量识别纠正方法和系统,其中,胎儿心率信号的数据质量识别纠正方法包括:获取胎儿心率信号,其中,所述胎儿心率信号包括胎儿心率数据;使用滑动窗口切分所述胎儿心率数据,得到多个胎儿心率片段;对所述多个胎儿心率片段进行分类标记,将不符合预设数据质量条件的胎儿心率片段标记为低质量片段;获取所述低质量片段的起始位置;根据所述起始位置计算所述低质量片段的填补片段,使用所述填补片段替换所述低质量片段,得到纠正后的胎儿心率数据。本发明的技术方案能解决现有技术中难以及时识别出胎儿心率数据中的低质量数据并纠正,容易产生信号误报,造成不适当的产科干预的问题。

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