公开(公告)号：CN101649202B

公开(公告)日：2014-06-18

申请号：CN200910164091.1

申请日：2009-08-10

Applicant: 关东化学株式会社

Inventor： 村上豊 ,  石川典夫

IPC: C09K13/00 ,  C09K13/02

Abstract: 本发明是有关于一种透明导电膜用腐蚀液组合物，其在液晶显示器等使用的ITO膜等的透明导电膜用腐蚀处理中草酸铟析出是很少的。通过含有草酸和、碱性化合物(其中三乙醇胺除外)的透明导电膜用腐蚀液组合物，在透明导电膜腐蚀工序中即使腐蚀液中的铟的浓度很高也可以有效地防止草酸铟的析出。

公开(公告)号：CN101649202A

公开(公告)日：2010-02-17

申请号：CN200910164091.1

申请日：2009-08-10

Applicant: 关东化学株式会社

Inventor： 村上豊 ,  石川典夫

IPC: C09K13/00 ,  C09K13/02

Abstract: 本发明是有关于一种透明导电膜用腐蚀液组合物，其在液晶显示器等使用的ITO膜等的透明导电膜用腐蚀处理中草酸铟析出是很少的。通过含有草酸和、碱性化合物(其中三乙醇胺除外)的透明导电膜用腐蚀液组合物，在透明导电膜腐蚀工序中即使腐蚀液中的铟的浓度很高也可以有效地防止草酸铟的析出。

公开(公告)号：CN101490626A

公开(公告)日：2009-07-22

申请号：CN200780026940.6

申请日：2007-08-10

Applicant: 关东化学株式会社

Inventor： 村上豊 ,  石川典夫

IPC: G03F7/38 ,  G03F7/32 ,  H01L21/027 ,  H01L21/304

CPC classification number: G03F7/322

Abstract: 本发明是有关于一种正型抗蚀剂处理液组合物，其是由含有用通式(I)表示的氢氧化季铵的水溶液组成的，式中，R1及R3分别表示甲基、R2表示碳数12～18的烷基。