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公开(公告)号：CN111936678A
公开(公告)日：2020-11-13
申请号：CN201980024394.5
申请日：2019-02-19
Applicant: 信越石英株式会社
Inventor： 马场裕二
Abstract: 本发明提供一种石英玻璃坩埚，其由底部、弯曲部及直体部构成，其中，所述石英玻璃坩埚具有由含有气泡的不透明石英玻璃构成的外层与由透明石英玻璃构成的内层，所述外层由相同种类的原料粉末、或两种以上不同种类的原料粉末制成，并具有两个以上以所述气泡的含有密度进行区分的部位，关于所述外层中相邻的两个部位的气泡含有密度，将所述气泡的含有密度大的部位a的气泡含的有气密泡度含设有为密d度a(设pc为s/dmbm(3p)c、s将/m所m3述)时气，泡所的述含相有邻密的度两小个的部部位位中b的气泡含有密度的差D＝(da‑db)/db为10％以上。由此提供一种石英玻璃坩埚的外层中的各个部位可具备不同功能的石英玻璃坩埚。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106574394B
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN201580041344.X
申请日：2015-06-01
Applicant: 信越石英株式会社
Inventor： 马场裕二
Abstract: 本发明是一种石英玻璃坩埚的制造方法，用于制造石英玻璃坩埚，所述石英玻璃坩埚是用以自其内部所保持的硅融液提拉单晶硅，所述石英玻璃坩埚的制造方法，包含下述步骤：制作石英玻璃坩埚的步骤，所述石英玻璃坩埚具有由含有气泡的不透明石英玻璃所构成的外层和由实质上不含有气泡的透明石英玻璃所构成的内层；对所述制作出来的石英玻璃坩埚的内表面之中的在保持有硅融液时会与该硅融液接触的区域，进行粗面化的步骤；以及，根据对所述内表面经粗面化的石英玻璃坩埚进行热处理，来使所述经粗面化的区域的表面结晶化的步骤。由此，能够制造一种单晶硅提拉用石英玻璃坩埚，其能够在单晶硅提拉时有效地抑制坩埚内表面发生棕环的情况，并抑制单晶硅的结晶性混乱。
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公开(公告)号：CN106574394A
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201580041344.X
申请日：2015-06-01
Applicant: 信越石英株式会社
Inventor： 马场裕二
CPC classification number: C30B15/10 , C03B19/095 , C03B20/00 , C03B32/02 , C03C19/00 , C30B29/06 , Y02P40/57
Abstract: 本发明是一种石英玻璃坩埚的制造方法，用于制造石英玻璃坩埚，所述石英玻璃坩埚是用以自其内部所保持的硅融液提拉单晶硅，所述石英玻璃坩埚的制造方法，包含下述步骤：制作石英玻璃坩埚的步骤，所述石英玻璃坩埚具有由含有气泡的不透明石英玻璃所构成的外层和由实质上不含有气泡的透明石英玻璃所构成的内层；对所述制作出来的石英玻璃坩埚的内表面之中的在保持有硅融液时会与该硅融液接触的区域，进行粗面化的步骤；以及，根据对所述内表面经粗面化的石英玻璃坩埚进行热处理，来使所述经粗面化的区域的表面结晶化的步骤。由此，能够制造一种单晶硅提拉用石英玻璃坩埚，其能够在单晶硅提拉时有效地抑制坩埚内表面发生棕环的情况，并抑制单晶硅的结晶性混乱。
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公开(公告)号：CN111936678B
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN201980024394.5
申请日：2019-02-19
Applicant: 信越石英株式会社
Inventor： 马场裕二
Abstract: 本发明提供一种石英玻璃坩埚，其由底部、弯曲部及直体部构成，其中，所述石英玻璃坩埚具有由含有气泡的不透明石英玻璃构成的外层与由透明石英玻璃构成的内层，所述外层由相同种类的原料粉末、或两种以上不同种类的原料粉末制成，并具有两个以上以所述气泡的含有密度进行区分的部位，关于所述外层中相邻的两个部位的气泡含有密度，将所述气泡的含有密度大的部位a的气泡含有密度设为da(pcs/mm3)、将所述气泡的含有密度小的部位b的气泡含有密度设为db(pcs/mm3)时，所述相邻的两个部位中的气泡含有密度的差D＝(da‑db)/db为10％以上。由此提供一种石英玻璃坩埚的外层中的各个部位可具备不同功能的石英玻璃坩埚。
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公开(公告)号：CN112533878A
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：CN201980050978.X
申请日：2019-06-04
Applicant: 信越石英株式会社
Inventor： 马场裕二
Abstract: 本发明是一种石英玻璃坩埚，其由底部、弯曲部及直筒部构成，其中，该石英玻璃坩埚具有外层与内层，该外层由含有气泡的不透明石英玻璃构成，该内层由透明石英玻璃构成，所述外层在至少所述直筒部的一部分中由多个层构成，在所述多个层之中，至少一层是易失透层，以1600℃对所述石英玻璃坩埚加热24小时后，该易失透层的失透斑点数为50个/cm3以上70个/cm3以下，在所述多个层之中，在所述石英玻璃坩埚的厚度方向上位于所述易失透层的内侧的层是低失透层，以1600℃对所述石英玻璃坩埚加热24小时后，该低失透层的失透斑点数为2个/cm3以下。由此，提供一种能够抑制因加热而导致的变形，并且能够抑制失透过度进展的石英玻璃坩埚。
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公开(公告)号：CN116917555A
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202280018384.2
申请日：2022-02-25
Applicant: 信越石英株式会社
IPC: C30B15/12
Abstract: 本发明是对具有外层和内层的石英玻璃坩埚进行评价的方法，其中，外层由含有气泡的不透明石英玻璃构成，内层由透明石英玻璃构成，具有以下工序：准备评价对象即石英玻璃坩埚；向该评价对象即石英玻璃坩埚照射紫外线作为激励光；对从照射了所述紫外线的石英玻璃坩埚发出的蓝色荧光进行检测；以及根据有无所述蓝色荧光，对所述石英玻璃坩埚的外层上的氧缺乏缺陷的状态进行评价。由此，提供一种石英玻璃坩埚的评价方法，其能够以不破坏的方式简单地评价进行氢掺杂、水蒸气的导入等而在石英玻璃坩埚产生的氧缺乏缺陷的状态。
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