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公开(公告)号：CN107272347B
公开(公告)日：2020-09-22
申请号：CN201710207996.7
申请日：2017-03-31
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本发明提供照射装置、光学装置、压印装置、投影装置和物品的制造方法。该照射装置执行倾斜照射并且包括：第一光学元件，其由多个光学部件的阵列形成，各个光学部件被构造为产生点光源；以及第二光学元件，其被构造为接收来自所述第一光学元件的光并形成照射区域，所述第二光学元件在一个方向上的屈光力不同于所述第二光学元件在与所述一个方向垂直的方向上的屈光力，其中，所述第一光学元件和所述第二光学元件中的至少一个具有围绕光学元件的光轴的旋转角度，以对由所述倾斜照射而引起的所述照射区域的失真进行补偿。
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公开(公告)号：CN109324476B
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN201811402119.6
申请日：2015-01-20
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
Abstract: 公开了压印装置和制造物品的方法。本发明提供了通过使用模具使基板的压射区域上的压印材料成型的压印装置，该压印装置包括：检测单元，被配置成检测照射模具的第一标记和基板的第二标记的第一光并测量第一标记与第二标记之间的位置偏差；加热单元，被配置成用第二光照射基板以便加热基板并使压射区域变形；以及控制单元，被配置成基于位置偏差控制模具与基板之间的对准，其中，检测单元或加热单元的参数被设定成在检测第一光并且用第二光照射基板时检测单元不检测第二光。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109324476A
公开(公告)日：2019-02-12
申请号：CN201811402119.6
申请日：2015-01-20
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
Abstract: 公开了压印装置和制造物品的方法。本发明提供了通过使用模具使基板的压射区域上的压印材料成型的压印装置，该压印装置包括：检测单元，被配置成检测照射模具的第一标记和基板的第二标记的第一光并测量第一标记与第二标记之间的位置偏差；加热单元，被配置成用第二光照射基板以便加热基板并使压射区域变形；以及控制单元，被配置成基于位置偏差控制模具与基板之间的对准，其中，检测单元或加热单元的参数被设定成在检测第一光并且用第二光照射基板时检测单元不检测第二光。
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公开(公告)号：CN105917442A
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：CN201580005034.2
申请日：2015-01-20
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , G03F7/20
CPC classification number: B29C43/58 , B29C35/0805 , B29C43/52 , B29C2035/0827 , B29C2043/5816 , B29C2043/585 , B29L2031/34 , G01B11/14 , G02B5/1861 , G02B5/20 , G02B27/141 , G03F7/0002 , H01L21/565
Abstract: 本发明提供了通过使用模具使基板的压射区域上的压印材料成型的压印装置，该压印装置包括：检测单元，被配置成检测照射模具的第一标记和基板的第二标记的第一光并测量第一标记与第二标记之间的位置偏差；加热单元，被配置成用第二光照射基板以便加热基板并使压射区域变形；以及控制单元，被配置成基于位置偏差控制模具与基板之间的对准，其中，检测单元或加热单元的参数被设定成在检测第一光并且用第二光照射基板时检测单元不检测第二光。
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公开(公告)号：CN105917442B
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201580005034.2
申请日：2015-01-20
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , G03F7/20
CPC classification number: B29C43/58 , B29C35/0805 , B29C43/52 , B29C2035/0827 , B29C2043/5816 , B29C2043/585 , B29L2031/34 , G01B11/14 , G02B5/1861 , G02B5/20 , G02B27/141 , G03F7/0002 , H01L21/565
Abstract: 本发明提供了通过使用模具使基板的压射区域上的压印材料成型的压印装置，该压印装置包括：检测单元，被配置成检测照射模具的第一标记和基板的第二标记的第一光并测量第一标记与第二标记之间的位置偏差；加热单元，被配置成用第二光照射基板以便加热基板并使压射区域变形；以及控制单元，被配置成基于位置偏差控制模具与基板之间的对准，其中，检测单元或加热单元的参数被设定成在检测第一光并且用第二光照射基板时检测单元不检测第二光。
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公开(公告)号：CN108121155A
公开(公告)日：2018-06-05
申请号：CN201711231748.2
申请日：2017-11-30
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
CPC classification number: G03F7/0002 , B29C37/0028 , B29C2037/0046 , B82Y40/00
Abstract: 本发明涉及压印装置、压印方法以及用于制造物品的方法。压印装置使用模具在基板的投射区域中形成压印材料的图案，并且包括加热机构，该加热机构通过用光照射基板的投射区域来改变基板的形状，其中加热机构包括在基板的投射区域中形成照度分布的多个光学调制器，并且来自多个光学调制器的光束照明投射区域的相互不同的区域。
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公开(公告)号：CN107272347A
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：CN201710207996.7
申请日：2017-03-31
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本发明提供照射装置、光学装置、压印装置、投影装置和物品的制造方法。该照射装置执行倾斜照射并且包括：第一光学元件，其由多个光学部件的阵列形成，各个光学部件被构造为产生点光源；以及第二光学元件，其被构造为接收来自所述第一光学元件的光并形成照射区域，所述第二光学元件在一个方向上的屈光力不同于所述第二光学元件在与所述一个方向垂直的方向上的屈光力，其中，所述第一光学元件和所述第二光学元件中的至少一个具有围绕光学元件的光轴的旋转角度，以对由所述倾斜照射而引起的所述照射区域的失真进行补偿。
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