III族氮化物半导体激光元件

    公开(公告)号:CN103620895A

    公开(公告)日:2014-03-05

    申请号:CN201280029797.7

    申请日:2012-07-18

    Abstract: 在具有在包含开口的电流限制层上再生长有p型包覆层的结构的III族氮化物半导体激光元件中,减小由存在于半极性的再生长界面的n型杂质引起的影响。半导体激光元件(10)具有n型半导体区域(14)、活性层(16)、第一p型半导体区域(18)、电流限制层(20)以及第二p型半导体区域(22)。第二p型半导体区域(22)是在形成电流限制层(20)的开口(20a)之后再生长在第一p型半导体区域(18)上和电流限制层(20)上的区域。第一p型半导体区域(18)中的与第二p型半导体区域(22)的界面包含III族氮化物半导体的半极性面。第一p型半导体区域(18)具有构成第一p型半导体区域(18)与第二p型半导体区域(22)之间的界面且具有1×1020cm-3以上的p型杂质浓度的高浓度p型半导体层(18c)。

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