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公开(公告)号：CN101271273B
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN200810086570.1
申请日：2008-03-20
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: G03F7/0397 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , Y10S430/111 , Y10S430/122 , Y10S430/123
Abstract: 本发明提供一种化学放大型抗蚀剂组合物，其包含：(A)树脂，所述树脂包含(a)具有酸-不稳定基团的结构单元、(b)具有至少一个羟基的结构单元、(c)具有至少一个内酯结构的结构单元以及(d)由式(Ia)或(Ib)表示的结构单元，其中在所述式(Ia)或(Ib)中，R1表示氢原子或甲基，R3表示甲基，n表示0至14的整数，并且Z表示单键或-[CH2]k-COO-；以及(B)至少一种酸生成剂。
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公开(公告)号：CN101271272A
公开(公告)日：2008-09-24
申请号：CN200810085472.6
申请日：2008-03-19
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , Y10S430/106 , Y10S430/111 , Y10S430/122
Abstract: 本发明提供一种化学放大型抗蚀剂组合物，其包含：(A)由式(I)表示的盐；(B)由式(II)表示的盐；以及(C)树脂，所述树脂包含具有酸－不稳定基团的结构单元，并且所述树脂本身不溶于或难溶于碱性水溶液，但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液，其中式(I)和(II)中的R21，Q1，Q2，A+，E和A'+具有在权利要求书和说明书中给出的定义。
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公开(公告)号：CN1673861B
公开(公告)日：2011-08-03
申请号：CN200510056001.9
申请日：2005-03-21
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0045 , G03F7/0397 , Y10S430/106 , Y10S430/111
Abstract: 本发明提供一种化学放大型正光刻胶组合物，其包含：树脂，所述的树脂含有具有酸不稳定基团的结构单元且其本身不溶于或难溶于碱性水溶液且通过酸的作用而变成在碱性水溶液中可溶的；酸生成剂；和式(C-1)的化合物：其中R1和R2各自独立地表示氢或含有1至4个碳原子的烷基，R3、R4和R5各自独立地表示氢或羟基。
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公开(公告)号：CN101910952A
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN200880123110.X
申请日：2008-12-22
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/40 , G03F7/004 , G03F7/039 , H01L21/027
CPC classification number: H01L21/0275 , G03F7/0035 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/40
Abstract: 本发明的目的在于提供一种抗蚀剂处理方法，其中，在双图形法等多重图形法中，极微细且精度良好地形成通过第一次抗蚀剂图形形成用的抗蚀剂组合物而得到的图形。本发明为一种抗蚀剂处理方法，其中，包括：将含有树脂(A)、光酸产生剂(B)以及交联剂(C)的第1抗蚀剂组合物涂布到基体上并进行干燥而得到第1抗蚀剂膜、对其进行预烘焙、曝光处理、曝光后烘焙、显影而得到第1抗蚀剂图形、并对其进行硬烘焙，在其上涂布第2抗蚀剂组合物并进行干燥而得到第2抗蚀剂膜、对其进行预烘焙、曝光处理、曝光后烘焙、显影而得到第2抗蚀剂图形的工序，其中，所述树脂(A)具有对酸不稳定的基团，在碱水溶液中不溶或难溶，可与酸作用后溶解。
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公开(公告)号：CN1955844A
公开(公告)日：2007-05-02
申请号：CN200610121843.2
申请日：2006-08-25
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: C07C309/17 , C07C381/12 , C07C2601/14
Abstract: 本发明提供一种式(I)的盐，式中X表示含有1至30个碳原子的无环烃的二价或三价残基，或者含有单环或双环的含有3至30个碳原子的烃的二价或三价残基，其中所述烃中的－CH2－可以被－O－取代，并且X中的一个或多个氢原子任选被含有1至6个碳原子的烷氧基、含有1至4个碳原子的全氟烷基、含有1至6个碳原子的羟烷基、羟基或氰基取代；Q1和Q2各自独立地表示氟原子或者含有1至6个碳原子的全氟烷基；A+表示有机抗衡离子；Y表示羟基、氰基或甲氧基；并且n表示1或2。本发明还提供一种包含式(I)的盐的化学放大型抗蚀剂组合物。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101236357B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN200810008504.2
申请日：2008-01-23
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: G03F7/0397 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , Y10S430/111 , Y10S430/122 , Y10S430/123
Abstract: 本发明提供一种化学放大型抗蚀剂组合物，其包含：树脂和至少两种盐，该树脂包含具有酸-不稳定基团的结构单元和由式(I)表示的结构单元，式(I)中R1表示氢原子或甲基，环X表示C3-C30环烃基，其中一个-CH2-被-COO-取代，并且C3-C30环烃基中的至少一个氢原子可以被取代，且p表示1至4的整数，并且该树脂本身不溶于或难溶于碱性水溶液，但通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液；该至少两种盐选自由式(II)表示的盐和由式(III)表示的盐，在式(II)中，Y1和Y2各自独立地表示氟原子或者C1-C6全氟烷基，A+表示有机抗衡离子且R21表示可以被取代的C1-C30烃基，且该C1-C30烃基中的至少一个-CH2-可以被-CO-或-O-取代，式(III)中，R23表示C1-C8直链或支链全氟烷基，并且A′+表示有机抗衡离子。
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公开(公告)号：CN101271273A
公开(公告)日：2008-09-24
申请号：CN200810086570.1
申请日：2008-03-20
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: G03F7/0397 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , Y10S430/111 , Y10S430/122 , Y10S430/123
Abstract: 本发明提供一种化学放大型抗蚀剂组合物，其包含树脂，所述树脂包含：(a)具有酸－不稳定基团的结构单元、(b)具有至少一个羟基的结构单元、(c)具有至少一个内酯结构的结构单元以及(d)由式(Ia)或(Ib)表示的结构单元，其中在所述式(Ia)或(Ib)中，R1表示氢原子或甲基，R3表示甲基，n表示0至14的整数，并且Z表示单键或－[CH2]k－COO－；以及(B)至少一种酸生成剂。
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公开(公告)号：CN101236357A
公开(公告)日：2008-08-06
申请号：CN200810008504.2
申请日：2008-01-23
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: G03F7/0397 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , Y10S430/111 , Y10S430/122 , Y10S430/123
Abstract: 本发明提供一种化学放大型抗蚀剂组合物，其包含：树脂和至少两种盐，该树脂包含具有酸－不稳定基团的结构单元和由式(I)表示的结构单元，式(I)中R1表示氢原子或甲基，环X表示C3－C30环烃基，其中一个－CH2－被－COO－取代，并且C3－C30环烃基中的至少一个氢原子可以被取代，且p表示1至4的整数，并且该树脂本身不溶于或难溶于碱性水溶液，但通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液；该至少两种盐选自由式(II)表示的盐和由式(III)表示的盐，在式(II)中，Y1和Y2各自独立地表示氟原子或者C1－C6全氟烷基，A+表示有机抗衡离子且R21表示可以被取代的C1－C30烃基，且该C1－C30烃基中的至少一个－CH2－可以被－CO－或－O－取代，式(III)中，R23表示C1－C8直链或支链全氟烷基，并且A+表示有机抗衡离子。
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公开(公告)号：CN101206405B
公开(公告)日：2011-11-30
申请号：CN200710197166.7
申请日：2007-12-10
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , Y10S430/111 , Y10S430/123
Abstract: 本发明提供一种化学放大型抗蚀剂组合物，其包含：树脂，所述树脂包含具有酸-不稳定基团的结构单元和由式(I)表示的结构单元：其中R1表示氢原子或甲基，环X表示C3-C30环烃基，其中一个-CH2-被-COO-取代，并且在所述C3-C30环烃基中的至少一个氢原子可以被取代，并且p表示1至4的整数，并且所述树脂本身在碱水溶液中不溶解或溶解差，但是通过酸的作用变得可溶于碱水溶液中；以及由式(II)表示的盐：其中Y1和Y2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，A+表示有机抗衡离子，并且R21表示可以被取代的C1-C30烃基，并且在C1-C30烃基中的至少一个-CH2-可以被-CO-或-O-取代。
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公开(公告)号：CN1955844B
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN200610121843.2
申请日：2006-08-25
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: C07C309/17 , C07C381/12 , C07C2601/14
Abstract: 本发明提供一种式(I)的盐，式中X表示含有1至30个碳原子的无环烃的二价或三价残基，或者含有单环或双环的含有3至30个碳原子的烃的二价或三价残基，其中所述烃中的-CH2-可以被-O-取代，并且X中的一个或多个氢原子任选被含有1至6个碳原子的烷氧基、含有1至4个碳原子的全氟烷基、含有1至6个碳原子的羟烷基、羟基或氰基取代；Q1和Q2各自独立地表示氟原子或者含有1至6个碳原子的全氟烷基；A+表示有机抗衡离子；Y表示羟基、氰基或甲氧基；并且n表示1或2。本发明还提供一种包含式(I)的盐的化学放大型抗蚀剂组合物。
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