公开(公告)号：CN113921419A

公开(公告)日：2022-01-11

申请号：CN202110733073.1

申请日：2021-06-28

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 北川铁也 ,  沟尻贵文 ,  中村祥章 ,  横森岳彦 ,  金津桂太

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/324

Abstract: 本发明提供一种能够以更短的时间对基板进行加热处理的光加热装置以及加热处理方法。一种光加热装置，用于对基板进行加热，具备：腔室，收容基板；一对透光窗，以相互对置的方式设置于腔室的壁面，向腔室内取入加热用的光；支承部件，在腔室内，以基板的各自的主面与一对透光窗的每一个对置的方式，在一对透光窗之间支承基板；多个LED元件，朝向被支承部件支承的基板射出光；闪光灯，朝向被支承部件支承的基板射出光；以及第一点亮控制部，在使LED元件点亮之后，在经过规定的时间后进行使闪光灯点亮的控制。

公开(公告)号：CN101295632A

公开(公告)日：2008-10-29

申请号：CN200810099642.6

申请日：2006-03-02

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 水川洋一 ,  金津桂太 ,  吉冈正树 ,  铃木信二 ,  关匡平

IPC: H01L21/00

Abstract: 本发明的目的在于提供一种加热装置，即使在窄小区域中产生成为失去温度分布的均匀性的主要原因的温度变化时，也可以均匀地加热被处理物，而且可以小型化。本发明的加热装置，在发光管的内部沿发光管的管轴延伸地按顺序并列配置有多根灯丝，且并列配置有多个独立地对各灯丝供电的加热器，其特征在于，使上述各加热器的各发光区域与各加热器正下方的被处理物的尺寸相适合。

公开(公告)号：CN101295632B

公开(公告)日：2010-12-08

申请号：CN200810099642.6

申请日：2006-03-02

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 水川洋一 ,  金津桂太 ,  吉冈正树 ,  铃木信二 ,  关匡平

IPC: H01L21/00

Abstract: 本发明的目的在于提供一种加热装置，即使在窄小区域中产生成为失去温度分布的均匀性的主要原因的温度变化时，也可以均匀地加热被处理物，而且可以小型化。本发明的加热装置，在发光管的内部沿发光管的管轴延伸地按顺序并列配置有多根灯丝，且并列配置有多个独立地对各灯丝供电的加热器，其特征在于，使上述各加热器的各发光区域与各加热器正下方的被处理物的尺寸相适合。

公开(公告)号：CN1828829A

公开(公告)日：2006-09-06

申请号：CN200610059456.0

申请日：2006-03-02

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 水川洋一 ,  金津桂太 ,  吉冈正树 ,  铃木信二 ,  关匡平

IPC: H01L21/00 ,  H01K1/14 ,  H01K9/00

Abstract: 本发明的目的在于提供一种加热器，即使在窄小区域中产生成为失去温度分布的均匀性的主要原因的温度变化时，也可以均匀地加热被处理物，而且可以小型化。本发明的加热器，在由光透射性材料构成的一支发光管内部设置灯丝而构成，其特征在于，上述灯丝在轴方向上被分割为多个，被分割的各灯丝分别独立地被供电。