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公开(公告)号：CN116399913A
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN202310397262.5
申请日：2023-04-12
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明涉及一种针对导电纤维材料电阻率测试的探针模块，上端压盖的压盖弹簧孔为四个且均布设置在压盖主体的底面上，压力弹簧的一端抵在压盖弹簧孔的顶部，另一端与导电片接触；探针架模块的单探针架的外壁为与内螺纹孔的内螺纹结构相匹配且螺接固定的外螺纹结构，单探针架内设有弹簧探针，压力传感器和导电片相接触且均套设在弹簧探针的上部，弹簧探针的顶端与压力弹簧接触，底端与导电纤维材料样品接触。采用内螺纹孔与单探针架的螺接配合，弹簧探针的压力可以进行较大范围调控且实时反馈。探针模块的结构简单，使用时操作更加方便，流程更加简洁。同时在测试方法上增加欧姆接触的测试，是决定能不能对半导体材料进行测试的决定条件。
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公开(公告)号：CN114778906A
公开(公告)日：2022-07-22
申请号：CN202210489246.4
申请日：2022-05-07
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明涉及一种用于测量石墨烯薄膜材料电阻率的探针装置，探针套筒的套筒限位部设置在套筒腔体的底端，探针弹簧套设在套筒腔体内；探针针轴的针轴卡接部设置在针轴本体的上部，针轴本体的上部套设在套筒腔体内且所述针轴卡接部卡设在套筒限位部之上，针轴端部设置在针轴本体的底端且与石墨烯薄膜材料接触。探针顶端封盖设置在套筒腔体的顶端，探针弹簧的一端与探针顶端封盖相抵，探针弹簧的另一端与探针针轴的顶端平面相抵。针对不同膜厚的石墨烯薄膜材料设计不同的探针端部，精度高，测量结果稳定。使用探针装置测量石墨烯薄膜材料的电阻率，可大大减小对石墨烯薄膜材料表面的破坏，可实现在不同测试原理或不同仪器上多次使用同材料进行测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115754392A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202211433052.9
申请日：2022-11-16
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明涉及一种具有压力显示的弹簧探针模块，压力显示模块的压力传感器设置在压力模块的下表面，压力传感器通过压力传感器导线与压力显示屏电连接；弹簧探针模块上表面的压力模块对应框内设有与压力传感器相对应的弹簧探针通孔；样品底座上设有样品放置框，样品放置框的角上设有探针放置框，探针放置框与弹簧探针通孔相对应，弹簧探针的顶端与压力传感器接触，弹簧探针的底端穿过弹簧探针通孔与探针放置框相对应。利用压力模块可以对弹簧探针模块上的弹簧探针施加压力，同时压力显示模块可以实时反馈弹簧探针施加到低中掺杂半导体材料样品的石墨烯电极上的压力，实现利用本发明对低中掺杂半导体材料样品使用范德堡法做到无损探测。
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公开(公告)号：CN114814313A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210489201.7
申请日：2022-05-07
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明涉及一种用于测量石墨烯薄膜材料电阻率的探针组模块，探针装置台和样品台之间通过螺栓固定连接；通过螺栓固定连接装置台上部和装置台下部，装置台上部和装置台下部对应设有正方形顶点分布的四个探针留置孔，弹簧探针固定设置在探针留置孔内；样品台主体上设有正方形的样品放置框，样品放置框的顶点上设有圆角形的探针放置框，探针放置框与探针留置孔的位置相对应。本发明改变了现有技术对石墨烯薄膜材料的表面破坏现状且不可再次使用的问题，可实现在不同测试原理或不同仪器上测试，对材料电学性质对比确定准确值。本发明使用操作简单，流程简洁，将样品制作为符合范德堡法测试的要求后将探针装置台和样品台上下结构相连即可保证稳定连接。
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公开(公告)号：CN219915455U
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN202320826105.7
申请日：2023-04-12
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本实用新型涉及一种针对导电纤维材料电阻率测试的探针模块，上端压盖的压盖弹簧孔为四个且均布设置在压盖主体的底面上，压力弹簧的一端抵在压盖弹簧孔的顶部，另一端与导电片接触；探针架模块的单探针架的外壁为与内螺纹孔的内螺纹结构相匹配且螺接固定的外螺纹结构，单探针架内设有弹簧探针，压力传感器和导电片相接触且均套设在弹簧探针的上部，弹簧探针的顶端与压力弹簧接触，底端与导电纤维材料样品接触。采用内螺纹孔与单探针架的螺接配合，弹簧探针的压力可以进行较大范围调控且实时反馈。探针模块的结构简单，使用时操作更加方便，流程更加简洁。同时在测试方法上增加欧姆接触的测试，是决定能不能对半导体材料进行测试的决定条件。
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公开(公告)号：CN218788054U
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202223042487.9
申请日：2022-11-16
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本实用新型涉及一种具有压力显示的弹簧探针模块，压力显示模块的压力传感器设置在压力模块的下表面，压力传感器通过压力传感器导线与压力显示屏电连接；弹簧探针模块上表面的压力模块对应框内设有与压力传感器相对应的弹簧探针通孔；样品底座上设有样品放置框，样品放置框的角上设有探针放置框，探针放置框与弹簧探针通孔相对应，弹簧探针的顶端与压力传感器接触，弹簧探针的底端穿过弹簧探针通孔与探针放置框相对应。利用压力模块可以对弹簧探针模块上的弹簧探针施加压力，同时压力显示模块可以实时反馈弹簧探针施加到低中掺杂半导体材料样品的石墨烯电极上的压力，实现利用本实用新型对低中掺杂半导体材料样品使用范德堡法做到无损探测。
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公开(公告)号：CN217332566U
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202221070128.1
申请日：2022-05-07
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本实用新型的一种用于测量石墨烯薄膜材料电阻率的探针装置，探针套筒的套筒限位部设置在套筒腔体的底端，探针弹簧套设在套筒腔体内；探针针轴的针轴卡接部设置在针轴本体的上部，针轴本体的上部套设在套筒腔体内且所述针轴卡接部卡设在套筒限位部之上，针轴端部设置在针轴本体的底端且与石墨烯薄膜材料接触。探针顶端封盖设置在套筒腔体的顶端，探针弹簧的一端与探针顶端封盖相抵，探针弹簧的另一端与探针针轴的顶端平面相抵。针对不同膜厚的石墨烯薄膜材料设计不同的探针端部，精度高，测量结果稳定。使用探针装置测量石墨烯薄膜材料的电阻率，可大大减小对石墨烯薄膜材料表面的破坏，可实现在不同测试原理或不同仪器上多次使用同材料进行测量。
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