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公开(公告)号：CN113488581A
公开(公告)日：2021-10-08
申请号：CN202110702230.2
申请日：2021-06-21
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: H01L41/33
Abstract: 本发明实施例涉及压电材料技术领域，具体涉及一种高质量压电薄膜退火降温方法和制备方法。所述退火降温方法为在压电薄膜退火后包括第一段降温过程和第二段降温过程；所述第一段降温过程为在退火炉内以降温速率为0.5‑1℃/s降温至第一温度；所述第二段降温过程为在退火炉内以2‑3℃/s的降温速率从第一温度降温至第二温度。本发明通过控制退火后降温段数的降温速率、降温温度以及降温时长，使压电薄膜与衬底间由于热膨胀系数不同导致薄膜内部产生的应力得到缓慢释放，减少薄膜内部的裂纹，提升薄膜质量，进而降低漏电流，从而提升其电学性能。
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