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公开(公告)号：CN118168458A
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202410158933.7
申请日：2024-02-04
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01B11/02
Abstract: 一种基于积分球的全息位移测量系统与测量方法，系统包括：分束片、聚焦透镜、单模光纤、积分球、精密平移台、第一平面反射镜、第二平面反射镜、相机和信号处理系统，固定在精密平移台上的积分球投射到相机上的散斑图案是由离轴全息记录，获得散斑图案的相位信息，再计算得到其局部波矢量；按预设的移动步长移动精密平移台，得到精密平移台上的积分球在不同位置时的散斑图案全息图，计算其局部波矢量用于位置测量标定。本发明通过积分球产生散斑图案，利用全息技术获得散斑图案的局部波矢量作为探测的标尺，突破装置的光学衍射极限，达到纳米级或者亚纳米级的探测分辨率，为光刻掩模对准、组件的精确定位和变形监测等方面提供了新的技术方案。
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公开(公告)号：CN110908128A
公开(公告)日：2020-03-24
申请号：CN201911087365.1
申请日：2019-11-08
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02B27/09
Abstract: 一种多色超快激光产生装置，可以产生多色环形共心的超快激光，通过对入射光分束，然后经分光元件分成两路，其中一路光经轴锥棱镜和透镜聚焦，另一路经透镜聚焦，两路光经第二分合光元件，合成一束，聚焦到透明固体，如玻璃内，经光学非线性过程产生不同颜色即不同波长的，环形的，共心的激光。该装置可以一次同时产生多个环带的激光，每个环带激光的波长不同，波长可覆盖深紫外，紫外，可见光，及中远红外等整个光波波段。结构紧凑，经济实用。产生的新波长激光，在光通信，光镊，微粒子捕获和迁移，离子加速，显微成像，生物成像，半导体制造如光刻等方面有重要应用价值。
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公开(公告)号：CN109494561A
公开(公告)日：2019-03-19
申请号：CN201910011936.7
申请日：2019-01-07
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种光学参量啁啾脉冲放大种子光产生装置，其构成包括：在主光路上设置第一聚焦元件，用于频域分光的双色镜，经过双色镜分光的反射光和透射光分别经过多枚反射镜调整光束传播方向，并最终聚焦于一枚三阶非线性薄片中，其中所述反射光所经过的第一反射镜和第二反射镜位于一个平移台上，用于调节时间同步，在级联四波混频的作用下，在所述三阶非线性薄片中会产生频率转移的信号光，所产生的信号光经过第二聚焦元件成像到角色散补偿元件中进行角色散补偿，并最终通过第三聚焦元件准直输出。本发明装置具有结构紧凑，经济实用，装置搭建方便，所获得的信号光能量高，光谱宽，脉冲对比度高，稳定性好，可用于拍瓦级别光学参量啁啾脉冲放大装置的种子光。
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公开(公告)号：CN108387973A
公开(公告)日：2018-08-10
申请号：CN201810112125.1
申请日：2018-02-05
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02B6/125
Abstract: 一种减小飞秒激光直写波导弯曲损耗的方法，本方法的核心包括两个方案：1、在弯曲波导外侧，激光直写并辅助化学刻蚀，刻蚀出空气槽；2、在弯曲波导两侧，激光直写多层产生应力的破坏线。本发明能增加弯曲波导有效折射率，从而减少导波的辐射模，大大降低弯曲损耗，有效减小器件中弯曲波导的弯曲半径，使波导器件结构更加紧凑，对微纳光学中三维光器件集成化、芯片化和光互联等领域具有重要意义。
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公开(公告)号：CN104112976B
公开(公告)日：2018-01-12
申请号：CN201410348729.8
申请日：2014-07-22
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: H01S3/10
Abstract: 一种基于白光产生的多色飞秒激光产生装置，特点在于其构成包括：在主光路设置一枚分束片把入射光分为反射光和透射光，所述的反射光依次经第一衰减片、第一透镜、白宝石片、第一片凹面反射镜、小孔光阑、啁啾镜和第二面凹面反射镜后聚焦到非线性晶体上，所述的透射光方向依次经第二衰减片、由第一反射镜和第二反射镜构成的延迟线、第三反射镜、第四反射镜、第五反射镜和第二透镜最终也聚焦到所述的非线性晶体上作为泵浦光。本发明具有调节简单，结构紧凑，输出信号光稳定等特点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105204265A
公开(公告)日：2015-12-30
申请号：CN201510687787.8
申请日：2015-10-21
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02F1/35
CPC classification number: G02F1/3501 , G02F2001/3503
Abstract: 一种飞秒激光脉冲对比度的提升装置，该装置基于自衍射方法并利用聚光元件，实验表明，基于聚光元件能将经过它的光聚焦成狭长的焦斑的特点，在使输出激光信号的对比度较输入激光脉冲的对比度提升了约4个数量级的同时,可以在不超过参与自衍射效应的非线性介质的损伤阈值的前提下，可提升本发明装置输入激光脉冲能量，从而也提升输出激光信号的能量。
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公开(公告)号：CN104914645A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201510375770.9
申请日：2015-06-30
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
CPC classification number: G02F1/3536 , G02F1/355 , H01S3/10
Abstract: 一种多色飞秒激光产生装置，其构成包括：在主光路上设置第一聚焦元件，两片位于聚焦透镜焦点处的透明固体薄片，第二聚焦元件，一枚滤波小孔，两枚啁啾镜，以获得光谱展宽的飞秒激光脉冲，再使用第三聚焦元件聚焦后，光谱展宽的激光脉冲被一枚双色镜分光，双色镜的反射光经过由两枚反射镜构成的延迟线和另一枚反射镜入射到透明非线性材料上，而透射光经过两枚反射镜也入射到所述的非线性材料中，调节两束光在玻璃片中时间和空间上重合即可获得多色飞秒激光。本发明装置具有结构紧凑，经济实用，装置搭建方便的特点，获得多色光的光谱范围宽且中心波长可调节的特点。
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公开(公告)号：CN111103695B
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN201911087924.9
申请日：2019-11-08
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种超快激光产生装置，可以产生多色环形共心的且具有不同偏振态的超快激光，所产生的激光在环上不同位置的超快激光可以具有不同的偏振态，且可以控制环上偏振态的分布，比如使其形成径向偏振分布或者角向偏振分布的涡旋光等。该装置可以一次同时产生多环多色的且具有特殊偏正态的超快涡旋激光，波长可覆盖深紫外，紫外，可见光，及中远红外等整个光波波段。结构紧凑，经济实用。产生的新波长激光，在光通信，光镊，微粒子捕获和迁移，离子加速，显微成像，生物成像，半导体制造如光刻等方面有重要应用价值。
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公开(公告)号：CN113285334A
公开(公告)日：2021-08-20
申请号：CN202110509183.X
申请日：2021-05-11
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种超强啁啾激光脉冲非对称四光栅压缩装置，本发明利用四光栅压缩装置的非对称结构，引入空间色散，从而降低从压缩装置出射的激光脉冲的调制度，增强压缩装置所能承受的最大输出能量。本发明与常规的对称四光栅压缩装置比起来，仅仅进行简易的结构改变，将对称结构变成非对称结构，既不增加其它的光学元件，也不用增加调节的复杂性，使得本发明在增强压缩装置所能承受的最大输出能量的同时，具有成本经济、结构简易且稳定的优点。
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公开(公告)号：CN112615237A
公开(公告)日：2021-04-06
申请号：CN202011486540.7
申请日：2020-12-16
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种超快激光产生装置，通过利用窄光谱信号光来产生宽光谱的大能量的超快激光。通过分光镜把入射激光分成透射和反射两部分激光。透射激光入射到窄光谱信号光产生装置产生窄带信号光。窄带信号光经第一反射镜反射后，被第一聚焦元件聚焦到透明材料。第二部分反射的激光做为泵浦光入射到延迟线后经第二反射镜反射，后被第二聚焦元件聚焦，经过第二聚焦元件聚焦的光经第三反射镜反射后也聚焦到透明材料。本发明所用的窄光谱信号光波长可覆盖深紫外，紫外，可见光，及中远红外等整个光波波段及THz波段。该装置结构紧凑，经济实用。产生宽光谱短脉冲激光在生物成像，泵浦探测实验，阿秒脉冲产生，及强场激光物理方面有重要应用价值。
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