公开(公告)号：CN112114164A

公开(公告)日：2020-12-22

申请号：CN202011009011.8

申请日：2020-09-23

Applicant: 中国矿业大学(北京)

Inventor： 李艳 ,  宋林珂 ,  靳彪 ,  李昊

IPC: G01P21/00

Abstract: 本发明公开了一种硅微谐振式加速度计非线性振动确定方法，步骤：(1)建立硅微谐振式加速度计的谐振梁非线性振动模型；(2)硅微谐振式加速度计非线性振动的不确定分析；(3)硅微谐振式加速度计输入参数对非线性振动的影响。忽略梳齿的转动惯量，简化梳齿为质点，建立带梳齿结构的谐振器非线性振动模型；建立样本随机模型，对输入参数进行随机收敛分析得到最小样本数，将确定的输入参数代入谐振梁非线性振动模型得到对应的输出参数；根据输出参数四分位差随输入参数方差系数的变化，分析输入参数对非线性振动的影响。本发明克服由于输入和输出参数的不确定性，无法分析其对非线性振动的影响程度问题。

公开(公告)号：CN112114164B

公开(公告)日：2021-12-14

申请号：CN202011009011.8

申请日：2020-09-23

Applicant: 中国矿业大学(北京)

Inventor： 李艳 ,  宋林珂 ,  靳彪 ,  李昊

IPC: G01P21/00

Abstract: 本发明公开了一种硅微谐振式加速度计非线性振动确定方法，步骤：(1)建立硅微谐振式加速度计的谐振梁非线性振动模型；(2)硅微谐振式加速度计非线性振动的不确定分析；(3)硅微谐振式加速度计输入参数对非线性振动的影响。忽略梳齿的转动惯量，简化梳齿为质点，建立带梳齿结构的谐振器非线性振动模型；建立样本随机模型，对输入参数进行随机收敛分析得到最小样本数，将确定的输入参数代入谐振梁非线性振动模型得到对应的输出参数；根据输出参数四分位差随输入参数方差系数的变化，分析输入参数对非线性振动的影响。本发明克服由于输入和输出参数的不确定性，无法分析其对非线性振动的影响程度问题。