一种Cr-Si-C-N纳米复合涂层的制备方法

    公开(公告)号:CN103014621B

    公开(公告)日:2014-11-05

    申请号:CN201110285282.0

    申请日:2011-09-23

    Abstract: 本发明属于涂层的制备方法,具体涉及一种超临界水冷堆燃料包壳表面Cr-Si-C-N纳米复合涂层的制备方法。它包括:步骤一:基体镀前处理与反溅清洗;用300目~1200目的金相砂纸对基材进行研磨抛光,达到镜面状态即可,然后将基材置于超声波容器中进行除油剂清洗,除油剂清洗完成后进行酸洗与去离子水漂洗后在真空干燥炉内烘干,最后将烘干基材置于沉积真空室进行等离子体反溅清洗,步骤二:Cr(C,N)梯度过渡层沉积;步骤三:Cr-Si-C-N纳米复合涂层沉积;步骤四:涂层热处理。本发明的效果是:硬度高、抗氧化度高、涂层附着牢固。

    一种Cr-Si-C-N纳米复合涂层的制备方法

    公开(公告)号:CN103014621A

    公开(公告)日:2013-04-03

    申请号:CN201110285282.0

    申请日:2011-09-23

    Abstract: 本发明属于涂层的制备方法,具体涉及一种超临界水冷堆燃料包壳表面Cr-Si-C-N纳米复合涂层的制备方法。它包括:步骤一:基体镀前处理与反溅清洗;用300目~1200目的金相砂纸对基材进行研磨抛光,达到镜面状态即可,然后将基材置于超声波容器中进行除油剂清洗,除油剂清洗完成后进行酸洗与去离子水漂洗后在真空干燥炉内烘干,最后将烘干基材置于沉积真空室进行等离子体反溅清洗,步骤二:Cr(C,N)梯度过渡层沉积;步骤三:Cr-Si-C-N纳米复合涂层沉积;步骤四:涂层热处理。本发明的效果是:硬度高、抗氧化度高、涂层附着牢固。

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