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公开(公告)号：CN112904047B
公开(公告)日：2021-07-27
申请号：CN202110480800.8
申请日：2021-04-30
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/00
Abstract: 本发明涉及一种三阶PT对称微机械微扰敏感系统，所述系统包括衬底、第一微机械结构、第二微机械结构以及第三微机械结构、第一可调耦合结构、第二可调耦合结构、第一可调阻尼电路和第二可调阻尼电路DB。第一微机械结构、第二微机械结构和第三微机械结构之间通过可调耦合结构连接，且两两镜像对称。第一可调阻尼电路作用于第一微机械结构的等效阻尼和第二可调阻尼电路作用于第二微机械结构的等效阻尼符号相反、大小相等。本发明是基于PT对称原理的系统，有利于进一步完善PT对称理论体系；三阶PT对称结构能使微机电系统获得更高灵敏度的微扰响应性能；该方案有助于发现微机电系统的新现象或新效应。
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公开(公告)号：CN111960374B
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202010504080.X
申请日：2020-06-05
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种PT对称垂动微机电系统，包括衬底、锚区、第一微机电结构、第二微机电结构、第一可调阻尼电路和第二可调阻尼电路；所述第一微机电结构、第二微机电结构共享衬底和锚区，且为镜像对称结构；所述第一微机电结构包括第一谐振梁、第一差分电容下电极、第一差分电容上电极、第一上电极锚区和第一耦合结构。所述第一可调阻尼电路作用于第一微机电结构的等效阻尼和第二可调阻尼电路作用于第二微机电结构的等效阻尼符号相反、大小相等本发明有利于进一步完善PT对称理论体系，能使微机电系统获得更高灵敏度的微扰响应性能，能为微机电系统的设计提供了一种新原理和新思路，可能发现微机电系统的新现象或新效应。
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公开(公告)号：CN114978088A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210517823.6
申请日：2022-05-12
Applicant: 东南大学
IPC: H03H9/02
Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS的PT对称系统，包括耦合谐振器，负电阻电路和正电阻电路；耦合谐振器包括两个完全相同的第一谐振器和第二谐振器，第一谐振器通过第一谐振器的锚区固定在衬底上，第二谐振器通过第二谐振器的锚区固定在衬底上，以保证耦合谐振器的运动方向为水平方向第一谐振器和第二谐振器通过耦合连接。在第一谐振器的左侧第一电极固定在衬底上，并和第一谐振器正对靠近放置，在第二谐振器的右侧第二电极固定在衬底上，并和第二谐振器正对靠近放置；负电阻电路连接第一电极，正电阻电路连接第二电极。本发明为微机电系统的设计提供了一种新原理和新思路。同时MEMS在PT对称的状态会出现一些新现象和新效应。
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公开(公告)号：CN113514666A
公开(公告)日：2021-10-19
申请号：CN202110472155.5
申请日：2021-04-29
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/097 , G01P15/125
Abstract: 本发明公开了一种基于PT对称谐振器的微机械加速度计及其检测方法，其中，PT对称谐振器由两个质量、刚度完全相同的谐振器组成，两个谐振器通过机械耦合结构连接；闭环自激驱动电路连接在两个谐振器之间，用于实现PT对称谐振器的自驱动并调节谐振器的阻尼。检测方法利用待测加速度对PT对称谐振器产生刚度微扰，进而改变PT对称谐振器的谐振频率，通过测量谐振频率分裂量即可实现对未知加速度的测量。本发明可以实现对微弱加速度的测量，同时大大提升了测量灵敏度。
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公开(公告)号：CN114978088B
公开(公告)日：2024-12-03
申请号：CN202210517823.6
申请日：2022-05-12
Applicant: 东南大学
IPC: H03H9/02
Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS的PT对称系统，包括耦合谐振器，负电阻电路和正电阻电路；耦合谐振器包括两个完全相同的第一谐振器和第二谐振器，第一谐振器通过第一谐振器的锚区固定在衬底上，第二谐振器通过第二谐振器的锚区固定在衬底上，以保证耦合谐振器的运动方向为水平方向第一谐振器和第二谐振器通过耦合连接。在第一谐振器的左侧第一电极固定在衬底上，并和第一谐振器正对靠近放置，在第二谐振器的右侧第二电极固定在衬底上，并和第二谐振器正对靠近放置；负电阻电路连接第一电极，正电阻电路连接第二电极。本发明为微机电系统的设计提供了一种新原理和新思路。同时MEMS在PT对称的状态会出现一些新现象和新效应。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111732070B
公开(公告)日：2023-01-17
申请号：CN202010503760.X
申请日：2020-06-05
Applicant: 东南大学
IPC: B81B7/02
Abstract: 本发明公开了一种PT对称侧动微机电系统，包括衬底、第一微机电结构、第二微机电结构、第一可调阻尼电路和第二可调阻尼电路，所述第一微机电结构、第二微机电结构设置在衬底上，第一微机电结构、第二微机电结构共享衬底，且为镜像对称结构；所述第一可调阻尼电路作用于第一微机电结构的等效阻尼和第二可调阻尼电路作用于第二微机电结构的等效阻尼符号相反、大小相等。本发明能使微机电系统获得更高灵敏度的微扰响应性能。
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公开(公告)号：CN112904047A
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN202110480800.8
申请日：2021-04-30
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/00
Abstract: 本发明涉及一种三阶PT对称微机械微扰敏感系统，所述系统包括衬底、第一微机械结构、第二微机械结构以及第三微机械结构、第一可调耦合结构、第二可调耦合结构、第一可调阻尼电路和第二可调阻尼电路DB。第一微机械结构、第二微机械结构和第三微机械结构之间通过可调耦合结构连接，且两两镜像对称。第一可调阻尼电路作用于第一微机械结构的等效阻尼和第二可调阻尼电路作用于第二微机械结构的等效阻尼符号相反、大小相等。本发明是基于PT对称原理的系统，有利于进一步完善PT对称理论体系；三阶PT对称结构能使微机电系统获得更高灵敏度的微扰响应性能；该方案有助于发现微机电系统的新现象或新效应。
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公开(公告)号：CN111732070A
公开(公告)日：2020-10-02
申请号：CN202010503760.X
申请日：2020-06-05
Applicant: 东南大学
IPC: B81B7/02
Abstract: 本发明公开了一种PT对称侧动微机电系统，包括衬底、第一微机电结构、第二微机电结构、第一可调阻尼电路和第二可调阻尼电路，所述第一微机电结构、第二微机电结构设置在衬底上，第一微机电结构、第二微机电结构共享衬底，且为镜像对称结构；所述第一可调阻尼电路作用于第一微机电结构的等效阻尼和第二可调阻尼电路作用于第二微机电结构的等效阻尼符号相反、大小相等。本发明能使微机电系统获得更高灵敏度的微扰响应性能。
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公开(公告)号：CN114910714A
公开(公告)日：2022-08-16
申请号：CN202210517815.1
申请日：2022-05-12
Applicant: 东南大学
IPC: G01R29/24
Abstract: 本发明公开了一种基于奇异点的高灵敏度电荷传感器及其使用方法，包括：耦合谐振器，其置于衬底之上且包括两个呈并排放置的谐振器，其中一个为增益谐振器，另外一个为损耗谐振器，该两个谐振器通过耦合梁串联，并且具有相同的质量、相同的刚度、大小相等但方向相反的阻尼；外部反馈控制电路，其用于调节阻尼使增益谐振器和损耗谐振器的阻尼大小相等方向相反。电荷引入的扰动使得基于奇异点的耦合谐振器由一个谐振频率分裂为两个谐振频率，通过检测两个谐振频率的分裂量即可实现对电荷的检测。
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公开(公告)号：CN113514666B
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：CN202110472155.5
申请日：2021-04-29
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/097 , G01P15/125
Abstract: 本发明公开了一种基于PT对称谐振器的微机械加速度计及其检测方法，其中，PT对称谐振器由两个质量、刚度完全相同的谐振器组成，两个谐振器通过机械耦合结构连接；闭环自激驱动电路连接在两个谐振器之间，用于实现PT对称谐振器的自驱动并调节谐振器的阻尼。检测方法利用待测加速度对PT对称谐振器产生刚度微扰，进而改变PT对称谐振器的谐振频率，通过测量谐振频率分裂量即可实现对未知加速度的测量。本发明可以实现对微弱加速度的测量，同时大大提升了测量灵敏度。
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