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公开(公告)号:CN105370587A
公开(公告)日:2016-03-02
申请号:CN201510895340.X
申请日:2015-12-07
Applicant: 东北大学
CPC classification number: F04D19/042 , F04D29/522
Abstract: 一种能够减少牵引级间隙返流的复合分子泵,在牵引转子和定子之间设置有防气体返流结构,其包括环向凸台及环向凹槽,环向凸台与环向凹槽彼此正对设置,且环向凸台和环向凹槽的轴向中心线与驱动主轴的轴向中心线相重合;当牵引转子为光筒、定子内开设螺旋槽时,环向凸台设置在牵引转子上,环向凹槽设置在定子上;当定子为光筒、牵引转子上开设螺旋槽时,环向凸台设置在定子上,环向凹槽设置在牵引转子上;防气体返流结构设置在复合分子泵的粘滞流态处、分子流态与粘滞流态之间的过渡流态处或在上述两种流态处同时设置;在轴向方向上,环向凸台的宽度小于环向凹槽的宽度;环向凸台与环向凹槽之间间距为牵引转子与定子之间间距的1~5倍。
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公开(公告)号:CN105909538B
公开(公告)日:2018-06-26
申请号:CN201610482808.7
申请日:2016-06-28
Applicant: 东北大学
Abstract: 一种采用分段式结构牵引级的复合分子泵,其筒式牵引级采用分段式结构,筒式牵引级的相邻段之间设有环向凹槽和环向凸台,环向凹槽与环向凸台彼此正对设置;当定子为光筒、牵引转子上开设螺旋槽时,环向凹槽设置在牵引转子上,环向凸台设置在定子上,牵引转子由环向凹槽分隔成若干牵引转子段;当牵引转子为光筒、定子内开设螺旋槽时,环向凹槽设置在定子上,环向凸台设置在牵引转子上,定子由环向凹槽分隔成若干定子段;在环向凸台上开设有螺旋槽,环向凸台上的螺旋槽与牵引转子或定子上的螺旋槽具有相反的螺旋方向;在抽气方向上,各个牵引转子段或定子段上、环向凸台上的螺旋槽数量呈递增设置、螺旋槽槽深呈递减设置及螺旋槽槽宽呈递减设置。
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公开(公告)号:CN105909538A
公开(公告)日:2016-08-31
申请号:CN201610482808.7
申请日:2016-06-28
Applicant: 东北大学
CPC classification number: F04D19/042 , F04D29/002
Abstract: 一种采用分段式结构牵引级的复合分子泵,其筒式牵引级采用分段式结构,筒式牵引级的相邻段之间设有环向凹槽和环向凸台,环向凹槽与环向凸台彼此正对设置;当定子为光筒、牵引转子上开设螺旋槽时,环向凹槽设置在牵引转子上,环向凸台设置在定子上,牵引转子由环向凹槽分隔成若干牵引转子段;当牵引转子为光筒、定子内开设螺旋槽时,环向凹槽设置在定子上,环向凸台设置在牵引转子上,定子由环向凹槽分隔成若干定子段;在环向凸台上开设有螺旋槽,环向凸台上的螺旋槽与牵引转子或定子上的螺旋槽具有相反的螺旋方向;在抽气方向上,各个牵引转子段或定子段上、环向凸台上的螺旋槽数量呈递增设置、螺旋槽槽深呈递减设置及螺旋槽槽宽呈递减设置。
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公开(公告)号:CN205908489U
公开(公告)日:2017-01-25
申请号:CN201620659850.7
申请日:2016-06-28
Applicant: 东北大学
Abstract: 一种采用分段式结构牵引级的复合分子泵,其筒式牵引级采用分段式结构,筒式牵引级的相邻段之间设有环向凹槽和环向凸台,环向凹槽与环向凸台彼此正对设置;当定子为光筒、牵引转子上开设螺旋槽时,环向凹槽设置在牵引转子上,环向凸台设置在定子上,牵引转子由环向凹槽分隔成若干牵引转子段;当牵引转子为光筒、定子内开设螺旋槽时,环向凹槽设置在定子上,环向凸台设置在牵引转子上,定子由环向凹槽分隔成若干定子段;在环向凸台上开设有螺旋槽,环向凸台上的螺旋槽与牵引转子或定子上的螺旋槽具有相反的螺旋方向;在抽气方向上,各个牵引转子段或定子段上、环向凸台上的螺旋槽数量呈递增设置、螺旋槽槽深呈递减设置及螺旋槽槽宽呈递减设置。
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公开(公告)号:CN205260360U
公开(公告)日:2016-05-25
申请号:CN201521005245.X
申请日:2015-12-07
Applicant: 东北大学
Abstract: 一种能够减少牵引级间隙返流的复合分子泵,在牵引转子和定子之间设置有防气体返流结构,其包括环向凸台及环向凹槽,环向凸台与环向凹槽彼此正对设置,且环向凸台和环向凹槽的轴向中心线与驱动主轴的轴向中心线相重合;当牵引转子为光筒、定子内开设螺旋槽时,环向凸台设置在牵引转子上,环向凹槽设置在定子上;当定子为光筒、牵引转子上开设螺旋槽时,环向凸台设置在定子上,环向凹槽设置在牵引转子上;防气体返流结构设置在复合分子泵的粘滞流态处、分子流态与粘滞流态之间的过渡流态处或在上述两种流态处同时设置;在轴向方向上,环向凸台的宽度小于环向凹槽的宽度;环向凸台与环向凹槽之间间距为牵引转子与定子之间间距的1~5倍。
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