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公开(公告)号：CN118068870A
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN202410449113.3
申请日：2024-04-15
Applicant: 东北大学
Abstract: 本发明涉及一种气体裂解源用流量阀系统及流量调节方法，属于流量控制技术领域，包括相连接的流量传感器、流量阀和气体裂解源，流量传感器的进气口与气瓶连接，流量阀的出气口与气体裂解源的进气口连接；气体裂解源包括前端盖，其内部设置有导流区域，气流沿前端盖切线方向进入导流管内；流量阀包括锥形阀及与之电连接的控制器，流量传感器与控制器电连接，锥形阀的入口端通过阶梯状管路与流量传感器连接；锥形阀的出口端通过L型弯管与气体裂解源连接，L型弯管的弯折处为四分之一圆角；通过调节锥形阀的开度使气流稳定。本发明能够实现提高流量稳定性同时减小气体裂解源内部的无效碰撞并提升裂解效率的目的。
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公开(公告)号：CN119876904A
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202510084134.4
申请日：2025-01-20
Applicant: 东北大学
IPC: C23C16/44
Abstract: 本发明涉及一种基于加压导流的气体裂解源，属于半导体技术领域，包括加压导流单元，加压导流单元设置在裂解源炉的前端，加压导流单元与裂解源炉间形成导流腔；支撑部分经过加压导流单元伸入裂解源炉内部，热丝与支撑部分固定；裂解源炉的末端设置有开有束流孔的源炉后端束流板。加压导流单元包括导流外管与导流内管，导流外管设置在支撑部分外部，与所述裂解源炉连接；导流内管的一端设置在导流外管内部，另一端伸入在裂解炉内部；导流内管的末端开设有源炉内部导流孔。本发明设置了加压导流的结构，提升了进入裂解源腔体前端这一局部区域的压力，配合导流孔结构及优化后的裂解源炉，达到保证镀膜稳定性、提升镀膜质量的目的。
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公开(公告)号：CN116972762A
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN202311154181.9
申请日：2023-09-08
Applicant: 沈阳恒屹实业有限公司 , 东北大学
IPC: G01B11/06
Abstract: 本发明属于微孔过滤技术领域，一种无损烛式过滤器滤饼厚度在线测量平台及使用方法，包括十字滑台模组，所述十字滑台模组的横向移动滑块上安装有测量仪；所述过滤器包括过滤器壳体，所述过滤器壳体顶部设置有滤液出口，过滤器壳体内安装有滤芯，过滤器壳体底部设置有滤饼脱落口，过滤器壳体底部靠近滤饼脱落口处设置有滤液入口，沿过滤器壳体纵向开设有若干观察口；通过所述十字滑台模组带动测量仪移动，依次对准沿纵向布置的观察口。通过在壳体上增加透明观察口，同时在观察口外部设置光学测量仪来实现无接触式测量，同时实现同一滤芯上不同位置滤饼厚度的测量，大大提高了测量精度。
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公开(公告)号：CN105909538B
公开(公告)日：2018-06-26
申请号：CN201610482808.7
申请日：2016-06-28
Applicant: 东北大学
Abstract: 一种采用分段式结构牵引级的复合分子泵，其筒式牵引级采用分段式结构，筒式牵引级的相邻段之间设有环向凹槽和环向凸台，环向凹槽与环向凸台彼此正对设置；当定子为光筒、牵引转子上开设螺旋槽时，环向凹槽设置在牵引转子上，环向凸台设置在定子上，牵引转子由环向凹槽分隔成若干牵引转子段；当牵引转子为光筒、定子内开设螺旋槽时，环向凹槽设置在定子上，环向凸台设置在牵引转子上，定子由环向凹槽分隔成若干定子段；在环向凸台上开设有螺旋槽，环向凸台上的螺旋槽与牵引转子或定子上的螺旋槽具有相反的螺旋方向；在抽气方向上，各个牵引转子段或定子段上、环向凸台上的螺旋槽数量呈递增设置、螺旋槽槽深呈递减设置及螺旋槽槽宽呈递减设置。
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公开(公告)号：CN105909538A
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：CN201610482808.7
申请日：2016-06-28
Applicant: 东北大学
CPC classification number: F04D19/042 , F04D29/002
Abstract: 一种采用分段式结构牵引级的复合分子泵，其筒式牵引级采用分段式结构，筒式牵引级的相邻段之间设有环向凹槽和环向凸台，环向凹槽与环向凸台彼此正对设置；当定子为光筒、牵引转子上开设螺旋槽时，环向凹槽设置在牵引转子上，环向凸台设置在定子上，牵引转子由环向凹槽分隔成若干牵引转子段；当牵引转子为光筒、定子内开设螺旋槽时，环向凹槽设置在定子上，环向凸台设置在牵引转子上，定子由环向凹槽分隔成若干定子段；在环向凸台上开设有螺旋槽，环向凸台上的螺旋槽与牵引转子或定子上的螺旋槽具有相反的螺旋方向；在抽气方向上，各个牵引转子段或定子段上、环向凸台上的螺旋槽数量呈递增设置、螺旋槽槽深呈递减设置及螺旋槽槽宽呈递减设置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104791264A
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201510185860.1
申请日：2015-04-20
Applicant: 东北大学
CPC classification number: F04D19/042 , F04D29/522
Abstract: 一种带有过渡结构的复合分子泵，在动叶轮与牵引转子衔接处设有过渡结构，过渡结构为短涡轮叶片、盘式牵引结构件或螺旋槽牵引结构件；当过渡结构采用短涡轮叶片或盘式牵引结构件时，牵引转子为光筒，定子内开设螺旋槽，短涡轮叶片或盘式牵引结构件与牵引转子固定连接；在与短涡轮叶片轴向对应的牵引转子上开设有通气倒角；在盘式牵引结构件上开设有型线沟槽，型线沟槽的线型为阿基米德螺线、对数螺线或圆弧线；当过渡结构采用螺旋槽牵引结构件时，定子为光筒，牵引转子上开设有螺旋槽，螺旋槽牵引结构件与牵引转子固定连接，在螺旋槽牵引结构件上开设有辅助过渡螺旋槽，辅助过渡螺旋槽的槽深及槽宽大于牵引转子上螺旋槽的槽深及槽宽。
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公开(公告)号：CN118068870B
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202410449113.3
申请日：2024-04-15
Applicant: 东北大学
Abstract: 本发明涉及一种气体裂解源用流量阀系统及流量调节方法，属于流量控制技术领域，包括相连接的流量传感器、流量阀和气体裂解源，流量传感器的进气口与气瓶连接，流量阀的出气口与气体裂解源的进气口连接；气体裂解源包括前端盖，其内部设置有导流区域，气流沿前端盖切线方向进入导流管内；流量阀包括锥形阀及与之电连接的控制器，流量传感器与控制器电连接，锥形阀的入口端通过阶梯状管路与流量传感器连接；锥形阀的出口端通过L型弯管与气体裂解源连接，L型弯管的弯折处为四分之一圆角；通过调节锥形阀的开度使气流稳定。本发明能够实现提高流量稳定性同时减小气体裂解源内部的无效碰撞并提升裂解效率的目的。
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公开(公告)号：CN110246746B
公开(公告)日：2021-06-29
申请号：CN201910635148.5
申请日：2019-07-15
Applicant: 东北大学
Abstract: 一种三极溅射离子泵，属于真空获得设备技术领域。所述三极溅射离子泵，包括顶部设置有进气管的壳体、设置在壳体外部的若干块永磁铁、与壳体侧壁连通的M个腔体和N个抽气组件，M＝N，N个所述抽气组件一一设置在腔体内，抽气组件包括阳极筒阵列、若干个阳极针和两块平行设置的阴极板，所述阳极筒阵列设置在两块平行设置的阴极板之间，所述若干个阳极针垂直贯穿阴极板，且阳极针的位置与阳极筒阵列内阳极筒的轴线对应，永磁铁与腔体外壁接触，且永磁铁的位置与邻近的腔体内的阴极板对应。所述三极溅射离子泵，提高了阳离子入射阴极板的角度，以及溅射离子泵在高真空与超高真空条件下的抽速。
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公开(公告)号：CN105370587A
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201510895340.X
申请日：2015-12-07
Applicant: 东北大学
CPC classification number: F04D19/042 , F04D29/522
Abstract: 一种能够减少牵引级间隙返流的复合分子泵，在牵引转子和定子之间设置有防气体返流结构，其包括环向凸台及环向凹槽，环向凸台与环向凹槽彼此正对设置，且环向凸台和环向凹槽的轴向中心线与驱动主轴的轴向中心线相重合；当牵引转子为光筒、定子内开设螺旋槽时，环向凸台设置在牵引转子上，环向凹槽设置在定子上；当定子为光筒、牵引转子上开设螺旋槽时，环向凸台设置在定子上，环向凹槽设置在牵引转子上；防气体返流结构设置在复合分子泵的粘滞流态处、分子流态与粘滞流态之间的过渡流态处或在上述两种流态处同时设置；在轴向方向上，环向凸台的宽度小于环向凹槽的宽度；环向凸台与环向凹槽之间间距为牵引转子与定子之间间距的1～5倍。
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公开(公告)号：CN117904600A
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202410059414.5
申请日：2024-01-16
Applicant: 东北大学
IPC: C23C16/448 , C30B25/14
Abstract: 本发明涉及一种气体裂解源，包含壳体，壳体顶部设置有裂解源前端盖，支撑部分及热丝设置在壳体内部，裂解源前端盖与支撑部分形成狭缝气路；所述壳体顶端设置有束流板，束流板上开设有束流孔；所述壳体的底部设置有文氏结构。所述束流孔沿束流板周向均布，束流孔面积之和大于狭缝气路的截面积；束流孔与束流板中间轴线具有夹角，使气流整流后的方向尽量的减少与壳体内壁面和支撑部分的碰撞次数。通过束流孔作为导向结构增加分子与热丝的碰撞几率，束流板将进入裂解炉内部的分子流进行各方向的整流，使其进入裂解腔体内部后能够更加快速的被引导至热丝表面，并发生有效碰撞后实现分子向原子的转换，提升裂解的效率和速率。
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