公开(公告)号：CN102598218B

公开(公告)日：2015-04-01

申请号：CN201080049061.7

申请日：2010-10-21

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 小森常范 ,  纲冈孝夫 ,  坂本桂太郎

IPC: H01L21/205 ,  C23C16/24 ,  C23C16/505 ,  H01L31/04

CPC classification number: C23C16/45591 ,  C23C16/24 ,  C23C16/4401 ,  C23C16/4412 ,  C23C16/45565 ,  C23C16/5096 ,  C23C16/52 ,  H01J37/32091 ,  H01J37/32357 ,  H01J37/32422 ,  H01J37/32449 ,  H01J37/32522 ,  H01J37/32568 ,  H01J37/32587 ,  H01J37/32834 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/0262

Abstract: 本发明提供一种等离子体CVD装置，所述等离子体CVD装置由真空容器构成，所述真空容器内部具有放电电极板和安装有薄膜形成用基板的接地电极板。在所述等离子体CVD装置中，具有与上述放电电极板隔开间隔地相对设置的接地盖板，上述放电电极板具有气体导入孔和将从该气体导入孔导入的气体排出的气体排出孔，所述气体导入孔的一端与薄膜形成用原料气体供给设备连接，另一端在上述放电电极板的下面开口，上述接地盖板具有与上述气体导入孔相对应的第2气体导入孔，并且具有与上述气体排出孔相对应的第2气体排出孔。在所述等离子体CVD装置中，具有与上述接地盖板隔开间隔地相对设置的电位控制板，该电位控制板具有与上述第2气体导入孔相对应的第3气体导入孔，并且具有与上述第2气体排出孔相对应的第3气体排出孔。

公开(公告)号：CN102598218A

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：CN201080049061.7

申请日：2010-10-21

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 小森常范 ,  纲冈孝夫 ,  坂本桂太郎

IPC: H01L21/205 ,  C23C16/24 ,  C23C16/505 ,  H01L31/04

CPC classification number: C23C16/45591 ,  C23C16/24 ,  C23C16/4401 ,  C23C16/4412 ,  C23C16/45565 ,  C23C16/5096 ,  C23C16/52 ,  H01J37/32091 ,  H01J37/32357 ,  H01J37/32422 ,  H01J37/32449 ,  H01J37/32522 ,  H01J37/32568 ,  H01J37/32587 ,  H01J37/32834 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/0262

Abstract: 本发明提供一种等离子体CVD装置，所述等离子体CVD装置由真空容器构成，所述真空容器内部具有放电电极板和安装有薄膜形成用基板的接地电极板。在所述等离子体CVD装置中，具有与上述放电电极板隔开间隔地相对设置的接地盖板，上述放电电极板具有气体导入孔和将从该气体导入孔导入的气体排出的气体排出孔，所述气体导入孔的一端与薄膜形成用原料气体供给设备连接，另一端在上述放电电极板的下面开口，上述接地盖板具有与上述气体导入孔相对应的第2气体导入孔，并且具有与上述气体排出孔相对应的第2气体排出孔。在所述等离子体CVD装置中，具有与上述接地盖板隔开间隔地相对设置的电位控制板，该电位控制板具有与上述第2气体导入孔相对应的第3气体导入孔，并且具有与上述第2气体排出孔相对应的第3气体排出孔。