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公开(公告)号:CN101010637A
公开(公告)日:2007-08-01
申请号:CN200580029284.6
申请日:2005-08-26
Applicant: 东丽株式会社
CPC classification number: G03F7/2022 , G03F7/70425 , G03F7/70466 , G03F7/7065 , G03F7/70791 , H01J9/242 , H01J11/12 , H01J11/36
Abstract: 本发明提供一种等离子体显示器用部件的制造方法,即使在光掩模上附着有异物或者有伤痕时,也可以抑制在曝光、显影后所得到的图案的断线或短路等缺陷的产生、并且可以提高成品率。本发明还提供一种显示器用部件的曝光方法,是借助于具有期望图案的光掩模、对在基板上形成了感光层的显示器用部件进行曝光动作的显示器用部件的曝光方法,其特征在于,在曝光动作中使光掩模与基板相对移动。
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公开(公告)号:CN105723468A
公开(公告)日:2016-06-29
申请号:CN201480063567.1
申请日:2014-11-11
Applicant: 东丽株式会社
CPC classification number: G21K4/00 , G01T1/1644 , G01T1/20 , G01T1/2002 , G21K2004/06
Abstract: 本发明为闪烁体面板,其包含基板、形成在该基板上的间隔壁、填充在被该间隔壁划分开的单元内的闪烁体层,所述闪烁体层含有荧光体,上述闪烁体层由荧光体的含有浓度不同的多个层构成。本发明提供闪烁体面板,其通过形成间隔壁而提高图像的清晰度,且能够获得充分的发光量。
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公开(公告)号:CN101933114B
公开(公告)日:2012-08-08
申请号:CN200980103745.8
申请日:2009-01-29
Applicant: 东丽株式会社
CPC classification number: H01J11/36 , H01J11/12 , H01J2211/365 , H01J2211/368
Abstract: 一种等离子体显示器用构件,具有:在基板(5)上形成的多个大致条纹状的地址电极(7);覆盖该地址电极的电介质层(6);以及位于该电介质层上的与该地址电极大致平行的主隔壁(8)及与该主隔壁正交的辅助隔壁(9),其特征在于,在位于显示区域的横向两侧的非显示区域的主隔壁中,位于最外部的主隔壁和与其相邻的主隔壁的间距(Pt1)为位于显示区域的主隔壁的间距(Pt2)的2以上的整数倍。另外,通过使用具有特定的形状的光掩模进行多次曝光,可以得到显示品质高且生产率高的等离子体显示器。
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公开(公告)号:CN105723468B
公开(公告)日:2019-01-22
申请号:CN201480063567.1
申请日:2014-11-11
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明为闪烁体面板,其包含基板、形成在该基板上的间隔壁、填充在被该间隔壁划分开的单元内的闪烁体层,所述闪烁体层含有荧光体,上述闪烁体层由荧光体的含有浓度不同的多个层构成。本发明提供闪烁体面板,其通过形成间隔壁而提高图像的清晰度,且能够获得充分的发光量。
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公开(公告)号:CN101933114A
公开(公告)日:2010-12-29
申请号:CN200980103745.8
申请日:2009-01-29
Applicant: 东丽株式会社
CPC classification number: H01J11/36 , H01J11/12 , H01J2211/365 , H01J2211/368
Abstract: 一种等离子体显示器用构件,具有:在基板(5)上形成的多个大致条纹状的地址电极(7);覆盖该地址电极的电介质层(6);以及位于该电介质层上的与该地址电极大致平行的主隔壁(8)及与该主隔壁正交的辅助隔壁(9),其特征在于,在位于显示区域的横向两侧的非显示区域的主隔壁中,位于最外部的主隔壁和与其相邻的主隔壁的间距(Pt1)为位于显示区域的主隔壁的间距(Pt2)的2以上的整数倍。另外,通过使用具有特定的形状的光掩模进行多次曝光,可以得到显示品质高且生产率高的等离子体显示器。
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公开(公告)号:CN101010637B
公开(公告)日:2010-07-28
申请号:CN200580029284.6
申请日:2005-08-26
Applicant: 东丽株式会社
CPC classification number: G03F7/2022 , G03F7/70425 , G03F7/70466 , G03F7/7065 , G03F7/70791 , H01J9/242 , H01J11/12 , H01J11/36
Abstract: 本发明提供一种等离子体显示器用部件的制造方法,即使在光掩模上附着有异物或者有伤痕时,也可以抑制在曝光、显影后所得到的图案的断线或短路等缺陷的产生、并且可以提高成品率。本发明还提供一种显示器用部件的曝光方法,是借助于具有期望图案的光掩模、对在基板上形成了感光层的显示器用部件进行曝光动作的显示器用部件的曝光方法,其特征在于,在曝光动作中使光掩模与基板相对移动。
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