公开(公告)号：CN1834733B

公开(公告)日：2010-11-10

申请号：CN200610008010.5

申请日：2006-02-23

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 小山恭史 ,  田岛久容

IPC: G02F1/13 ,  G01N21/88

Abstract: 颜色云纹检查方法及其装置。本发明的课题是不受到个人差异、个人的状态差异的影响，而高精度地检查颜色云纹的有无、程度等。作为解决手段，本发明将聚光光学系统(34)的焦点调节为可去除网纹的状态，通过摄像装置(35)拍摄基板(31)，根据摄像数据检查颜色云纹的有无、程度等。

公开(公告)号：CN117772525A

公开(公告)日：2024-03-29

申请号：CN202311280668.1

申请日：2023-09-28

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 滨川健史 ,  田岛久容 ,  伊藤俊文

IPC: B05C5/02 ,  B05C9/12 ,  B05D3/04 ,  B05C9/14

Abstract: 本发明提供一种涂布装置，其抑制干燥器供给空气的供给量的偏差，从而抑制在涂布膜上形成不均。涂布装置具备：载置基板的载台；以及涂布器，其一边相对于载置于载台的基板相对地移动，一边从喷嘴喷出涂布液而在基板上形成涂布膜，涂布装置设置有干燥器，该干燥器通过向由涂布器形成在基板上的涂布膜供给空气来使涂布膜干燥，干燥器构成为在供给空气的空气供给口设置有多孔质部件，该多孔质部件抑制在空气供给口局部地形成空气供给量的强弱。

公开(公告)号：CN1834733A

公开(公告)日：2006-09-20

申请号：CN200610008010.5

申请日：2006-02-23

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 小山恭史 ,  田岛久容

IPC: G02F1/13

Abstract: 颜色云纹检查方法及其装置。本发明的课题是不受到个人差异、个人的状态差异的影响，而高精度地检查颜色云纹的有无、程度等。作为解决手段，本发明将聚光光学系统(34)的焦点调节为可去除网纹的状态，通过摄像装置(35)拍摄基板(31)，根据摄像数据检查颜色云纹的有无、程度等。