光学测定方法及其装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1666100A

    公开(公告)日:2005-09-07

    申请号:CN03816174.5

    申请日:2003-07-08

    Inventor: 松村淳一 林睦

    CPC classification number: G01N21/896 G01N21/958 G01N2021/8908

    Abstract: 一种光学测定装置,包括:表面光用传感器(5),由激光光源(2)以规定的入射角向透明测定对象物(1)的表面照射光束,使从透明测定对象物(1)的表面、背面产生的表面光、背面光通过成像光学系统(3)成像,在透过半反射镜(4)的表面光的成像位置上配置受光面;背面光用传感器(6),被配置成使受光面位于由半反射镜(4)反射的背面光的成像位置;表面用测定数据保持部(7),把来自表面光用传感器(5)的输出信号和支撑机构的动作信息作为输入,生成和保持与透明测定对象物(1)的表面对应的二维光学测定数据;背面用测定数据保持部(8),把来自背面光用传感器(6)的输出信号和支撑机构的动作信息作为输入,生成和保持与透明测定对象物(1)的背面对应的二维光学测定数据;以及表面背面数据生成保持部(9),把两光学测定数据作为输入进行表面背面判定处理,生成和保持仅与透明测定对象物(1)的表面对应的表面数据和仅与背面对应的背面数据。由此,不会增加扫描时间,可提高被检测面的异物检测精度,而且,不仅可测定表面的状态,而且可测定背面的状态。

    光学测量方法及光学测量装置

    公开(公告)号:CN1721841B

    公开(公告)日:2010-08-04

    申请号:CN200510086024.4

    申请日:2005-07-18

    Abstract: 提供能够避免检查对象的表面特性引起噪声使测量精度恶化的光学测量方法及光学测量装置。将光照射到检查对象(GL)上,接受从检查对象(GL获得的光最终变换成二维光强度信号(S1),从光强度信号(S1)中将测量表面状态(IB)时必须的信号即关注信号(SB)与测量表面状态时不需要的信号即噪声信号(SN)分离,由此仅抽出关注信号(SB),将抽出的关注信号(SB)与预定的阈值(T1)进行比较。实际上为比较光强度信号(S1)与追随噪声信号(SN)的阈值,能够避免检查对象的表面特性引起噪声使测量精度恶化。

    光学测量方法及光学测量装置

    公开(公告)号:CN1721841A

    公开(公告)日:2006-01-18

    申请号:CN200510086024.4

    申请日:2005-07-18

    Abstract: 提供能够避免检查对象的表面特性引起噪声使测量精度恶化的光学测量方法及光学测量装置。将光照射到检查对象(GL)上,接受从检查对象(GL获得的光最终变换成二维光强度信号(S1),从光强度信号(S1)中将测量表面状态(IB)时必须的信号即关注信号(SB)与测量表面状态时不需要的信号即噪声信号(SN)分离,由此仅抽出关注信号(SB),将抽出的关注信号(SB)与预定的阈值(T1)进行比较。实际上为比较光强度信号(S1)与追随噪声信号(SN)的阈值,能够避免检查对象的表面特性引起噪声使测量精度恶化。

    光学测定方法及其装置
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100570342C

    公开(公告)日:2009-12-16

    申请号:CN03816174.5

    申请日:2003-07-08

    Inventor: 松村淳一 林睦

    CPC classification number: G01N21/896 G01N21/958 G01N2021/8908

    Abstract: 一种光学测定装置,包括:表面光用传感器(5),由激光光源(2)以规定的入射角向透明测定对象物(1)的表面照射光束,使从透明测定对象物(1)的表面、背面产生的表面光、背面光通过成像光学系统(3)成像,在透过半反射镜(4)的表面光的成像位置上配置受光面;背面光用传感器(6),被配置成使受光面位于由半反射镜(4)反射的背面光的成像位置;表面用测定数据保持部(7),把来自表面光用传感器(5)的输出信号和支撑机构的动作信息作为输入,生成和保持与透明测定对象物(1)的表面对应的二维光学测定数据;背面用测定数据保持部(8),把来自背面光用传感器(6)的输出信号和支撑机构的动作信息作为输入,生成和保持与透明测定对象物(1)的背面对应的二维光学测定数据;以及表面背面数据生成保持部(9),把两光学测定数据作为输入进行表面背面判定处理,生成和保持仅与透明测定对象物(1)的表面对应的表面数据和仅与背面对应的背面数据。由此,不会增加扫描时间,可提高被检测面的异物检测精度,而且,不仅可测定表面的状态,而且可测定背面的状态。

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