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公开(公告)号：CN103832826B
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201310584960.2
申请日：2013-11-19
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: B65G49/00
Abstract: 提供能够在短时间内对加热后的基板进行冷却的浮起搬送热处理装置。浮起搬送热处理装置（1）排列有多个浮起搬送单元，各所述浮起搬送单元依次在对基板进行超声波振动浮起的同时进行热处理并进行搬送，该浮起搬送单元具有：振动板部，其通过超声波振动使基板浮起；超声波产生部，其对振动板部赋予超声波振动；搬送部，其支撑基板的端部并在与基板的浮起方向垂直的方向上搬送基板，该浮起搬送热处理装置具有加热区域（2）和冷却区域（3），在该加热区域中，浮起搬送单元具有对该浮起搬送单元的振动板部进行加热的加热器部，在该冷却区域中，浮起搬送单元不具有加热器部。
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公开(公告)号：CN102437076B
公开(公告)日：2016-07-20
申请号：CN201110277138.2
申请日：2011-09-19
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: H01L21/677 , B65G51/03
Abstract: 本发明涉及一种基板输送装置，该基板输送装置能够抑制基板上的涂布膜上发生干燥不匀而输送基板，另外，即使装置的制造和组装误差大时也能够抑制颗粒的发生。该基板输送装置将从载物台的表面浮起的基板用基板导向件边引导边输送，基板导向件包括：基板导向件主体，通过与基板侧面抵接来约束基板，并且能够朝向与载物台表面呈垂直的方向位移；浮起单元，用于将基板导向件主体从载物台表面浮起；偏向装置，用于使基板导向件主体偏向于载物台表面侧，其中，所述基板导向件主体包括与基板侧面抵接的基板抵接部，该基板抵接部的高度位置通过浮起单元和偏向装置保持在从载物台表面浮起的基板的高度位置上。
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公开(公告)号：CN103832826A
公开(公告)日：2014-06-04
申请号：CN201310584960.2
申请日：2013-11-19
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: B65G49/00
Abstract: 提供能够在短时间内对加热后的基板进行冷却的浮起搬送热处理装置。浮起搬送热处理装置（1）排列有多个浮起搬送单元，各所述浮起搬送单元依次在对基板进行超声波振动浮起的同时进行热处理并进行搬送，该浮起搬送单元具有：振动板部，其通过超声波振动使基板浮起；超声波产生部，其对振动板部赋予超声波振动；搬送部，其支撑基板的端部并在与基板的浮起方向垂直的方向上搬送基板，该浮起搬送热处理装置具有加热区域（2）和冷却区域（3），在该加热区域中，浮起搬送单元具有对该浮起搬送单元的振动板部进行加热的加热器部，在该冷却区域中，浮起搬送单元不具有加热器部。
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公开(公告)号：CN105234055A
公开(公告)日：2016-01-13
申请号：CN201510378437.3
申请日：2015-07-01
Applicant: 东丽工程株式会社
Inventor： 宫岛勇也
Abstract: 本发明提供一种浮起输送装置，其能够不使基板破损地对其进行浮起输送。浮起输送装置具有：浮起台(2)，其使基板(W)浮起；手部(51)，其具有与基板的端面抵接的抵接部(53)，通过使抵接部与借助浮起台(2)而浮起的基板的端部抵接来把持基板；以及行走机构(52)，其使手部沿基板的输送方向移动，浮起台的基板浮起面(23)在与输送方向垂直的宽度方向上比基板的宽度窄，所述基板浮起面是使基板浮起的面，当手部把持基板时，抵接部在宽度方向上在比基板浮起面靠外侧的位置与基板抵接，抵接部的下端位于比基板浮起面低的位置。
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公开(公告)号：CN103579062A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201310297548.2
申请日：2013-07-16
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/027 , B65G49/06 , B65G49/07
CPC classification number: H01L21/67742 , B65G49/06 , B65G49/07 , H01L21/6838 , H01L2221/68363
Abstract: 本发明提供一种基板输送装置，通过该装置能够在抑制基板上的涂布膜上产生干燥不匀的情况下输送基板。该装置是用基板导向件夹持通过超声波振动浮起的基板的同时使基板导向件行进，以浮起基板的状态输送基板的基板输送装置，所述基板导向件包括：基板抵接部，与基板抵接；浮起单元，将该基板抵接部从振动板浮起至规定高度，浮起单元包括：空气垫部，包括向振动板排出空气的空气排出部；脱气通道，用于将从空气排出部排出的空气逃出；脱气通道至少设置在空气排出部和与基板抵接部抵接的基板之间，并按照使空气垫部和振动板之间形成的间隙的空气向高于所述基板高度位置逃出的方式形成。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102806179A
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN201210113664.X
申请日：2012-04-18
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 本发明提供一种悬浮传送加热装置，能够避免在涂布膜上产生干燥斑地对基板进行加热的同时进行传送，该悬浮传送加热装置包括：振动板部(2)，用于使基板超声波振动悬浮；加热器部(3)，用于加热所述振动板部；超声波产生部(4)，用于向所述振动板部提供超声波振动；传送部(5)，支撑基板的端部，沿与悬浮方向垂直的方向传送基板，其中，加热器部(3)在振动板部(2)的使基板悬浮的面的背面侧上与振动板部(2)形成预定间隔而设置，与基板的传送方向垂直相交的方向的振动板部(2)的尺寸大于同方向的基板(W)的尺寸，通过由加热器(3)部对振动板部(2)进行加热，悬浮传送的基板(W)的整个面被振动板部(2)加热。
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公开(公告)号：CN106185321A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610341223.3
申请日：2016-05-20
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: B65G49/06
CPC classification number: B65G49/061 , B65G49/065 , B65G49/067
Abstract: 提供基板输送装置，即使在干燥温度的设定变更时，也不需要进行振动板与转乘单元的高度位置的调节。基板输送装置具有：多张振动板，它们使基板在基板输送面上超声波浮起；和加热器部，其设置在所述振动板的基板输送面的背侧，该基板输送装置构成为：在相邻的振动板的彼此之间设置有使基板转乘到下一个振动板的转乘单元，该转乘单元具有：输送空气喷出部，其向基板输送面侧喷出空气并形成基板输送面的一部分；和支承延长部，其朝向相邻的各个振动板延伸设置，在支承延长部中设置有朝向振动板喷出空气的支承空气喷出部，通过从该支承空气喷出部喷出的空气，将转乘单元非接触地支承在振动板之间，并将振动板的基板输送面与输送空气喷出部调整为平滑。
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公开(公告)号：CN103302009B
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201310057869.5
申请日：2013-02-25
Applicant: 东丽工程株式会社
Inventor： 宫岛勇也
Abstract: 本发明提供一种热处理装置，在进行热处理时能够抑制涂布膜上形成干燥不匀，该热处理装置包括：多个振动板部（2），在搬运基板（W）的方向上并排排列；超声波发生部（4），向各振动板部（2）施加超声波振动；温度控制部（3），将规定的振动板部（2）温度控制在规定的温度，并且，对基板（W）以超声波振动悬浮来搬运的同时给基板（W）实施热处理，其中，部分或者全部振动板部（2）之间进一步配置有通过气体的喷射来使基板（W）悬浮的气体悬浮部（6）。
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公开(公告)号：CN102806179B
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201210113664.X
申请日：2012-04-18
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 本发明提供一种悬浮传送加热装置，能够避免在涂布膜上产生干燥斑地对基板进行加热的同时进行传送，该悬浮传送加热装置包括：振动板部(2)，用于使基板超声波振动悬浮；加热器部(3)，用于加热所述振动板部；超声波产生部(4)，用于向所述振动板部提供超声波振动；传送部(5)，支撑基板的端部，沿与悬浮方向垂直的方向传送基板，其中，加热器部(3)在振动板部(2)的使基板悬浮的面的背面侧上与振动板部(2)形成预定间隔而设置，与基板的传送方向垂直相交的方向的振动板部(2)的尺寸大于同方向的基板(W)的尺寸，通过由加热器(3)部对振动板部(2)进行加热，悬浮传送的基板(W)的整个面被振动板部(2)加热。
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公开(公告)号：CN103579062B
公开(公告)日：2017-07-28
申请号：CN201310297548.2
申请日：2013-07-16
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/027 , B65G49/06 , B65G49/07
Abstract: 本发明提供一种基板输送装置，通过该装置能够在抑制基板上的涂布膜上产生干燥不匀的情况下输送基板。该装置是用基板导向件夹持通过超声波振动浮起的基板的同时使基板导向件行进，以浮起基板的状态输送基板的基板输送装置，所述基板导向件包括：基板抵接部，与基板抵接；浮起单元，将该基板抵接部从振动板浮起至规定高度，浮起单元包括：空气垫部，包括向振动板排出空气的空气排出部；脱气通道，用于将从空气排出部排出的空气逃出；脱气通道至少设置在空气排出部和与基板抵接部抵接的基板之间，并按照使空气垫部和振动板之间形成的间隙的空气向高于所述基板高度位置逃出的方式形成。
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