超声波振动加热干燥装置

    公开(公告)号:CN104941830A

    公开(公告)日:2015-09-30

    申请号:CN201510128617.6

    申请日:2015-03-24

    Abstract: 本发明提供一种超声波振动加热干燥装置,其可以保持振动板部整体的温度均匀,并可以抑制基板上的涂布膜形成干燥不匀。该超声波振动加热干燥装置具有:振动板部,其使基板超声波振动悬浮;加热器部,其对振动板部进行加热;支撑部件,其穿过支撑贯穿孔来支撑振动板部,使得振动板部与加热器部相对,其中,所述支撑贯穿孔形成于加热器部,支撑部件的结构为,贯插于支撑贯穿孔中的部分的至少与支撑贯穿孔的内周面相对的部分被比支撑部件的放射率高的高放射率部件覆盖。

    透明导电膜的形成方法和薄膜加热干燥装置

    公开(公告)号:CN104851477A

    公开(公告)日:2015-08-19

    申请号:CN201510079502.2

    申请日:2015-02-13

    Abstract: 本发明提供透明导电膜的形成方法和薄膜加热干燥装置,提供一种在利用PEDOT/PSS形成透明导电膜时能够提高导电性的透明导电膜的形成方法和透明导电膜(薄膜)干燥装置。所述透明导电膜的形成方法为:通过将使作为溶剂的水中含有包含聚乙撑二氧噻吩(PEDOT)和聚苯乙烯磺酸(PSS)的导电性高分子材料所得到的涂布材料涂布至被处理基材上而形成涂布膜,在腔室内对该涂布膜进行加热干燥处理,从而使上述涂布膜干燥并在被处理基材上形成透明导电膜,该形成方法中,上述加热干燥处理的构成如下:在以上述溶剂的沸点以上的干燥温度进行保持的同时,在腔室内进行了抑制上述涂布膜的溶剂的蒸发的干燥延迟处理之后再进行促进溶剂的蒸发的干燥促进处理。

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