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公开(公告)号：CN113457013B
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN202110765294.7
申请日：2021-07-07
Applicant: 上海交通大学
IPC: A61N1/36 , A61N1/05 , C12N5/0793
Abstract: 本发明提供一种用于治疗心律失常的神经接口装置，包括：设置于生物体外的光源模块，用于发射所需设定波长的光；植入生物体内具有活性的生物电极，生物电极包括：具有生物兼容性的壳体，壳体具有为神经元提供生长场所的内部腔体，且内部腔体贯穿壳体的两端；设置于内部腔体内的神经元聚集体，神经元聚集体用于接收光源模块发出的不同波长光信号，产生神经信号并传递至生物体神经，从而降低或提高心率以抑制心动过速或心动过缓；设置于生物电极外部的保护部件，保护部件用于保护生物电极和植入部位。本发明对心脏无任何损伤、具有靶向性调节功能、长期稳定性和生物相容性，有望实现特定功能的临床效果，对心血管疾病的诊疗研究具有重大意义。
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公开(公告)号：CN115463803B
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN202111532888.X
申请日：2021-12-15
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供一种化学气相沉积装置以及高厚度Parylene‑N膜的制备方法，该装置包括通过管道依次相连的蒸发室、裂解炉、沉积室和冷阱；所述冷阱通过真空泵与所述沉积室连通；所述沉积室的底部设有用于与所述冷阱连通的连通口，所述连通口处设有节流片，所述节流片用于调节所述连通口的大小；所述沉积室内还设有降温平台，所述降温平台位于所述沉积室的腔室底部，所述降温平台用于降低衬底的温度。本发明的高厚度Parylene‑N膜的制备方法，使用该装置，并通过控制裂解温度和沉积压力等参数，可以实现微米级别的Parylene‑N膜的快速沉积，且只需要在常见的Parylene沉积设备上进行改进和调节参数即可实现，有利于减少制造成本。
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公开(公告)号：CN116313168A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202211626404.2
申请日：2022-12-16
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供一种激光聚变点火的靶支撑结构及其MEMS加工方法，包括：下压缩锥支撑片，其位于底部，设置有下压缩锥装配孔和夹持端；上压缩锥支撑片，其与下压缩锥支撑片平行，其设置有上压缩锥装配孔；点火锥支撑片，其竖向设置，连接下压缩锥支撑片和上压缩锥支撑片，其设置有点火锥装配孔；承托片，其竖向设置，连接下压缩锥支撑片和上压缩锥支撑片，其设置有调整观测孔；装配孔均设置有点胶槽。本发明模块化设计满足打靶实验对于靶加工的高灵活性需求，MEMS加工技术解决高尺寸精度的问题，SOI硅片的使用从技术层面实现了不同批次零部件加工结果的高均一性。对于靶支撑结构形成可靠的技术线路，满足点火实验对各个参数靶的灵活需求和批量化生产要求。
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公开(公告)号：CN115662681A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202211394183.0
申请日：2022-11-08
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供一种集成馈通基板的柔性电极及其制备方法和电极器件，该柔性电极包括依次设置的：柔性电极，所述柔性电极具有电极导电层；馈通基板，所述馈通基板的内部设有导电微柱阵列，所述馈通基板的顶部和底部表面均设有绝缘层，所述绝缘层的外表面设有基板焊盘；重分布层，所述重分布层具有重分布导电层和与所述重分布导电层连接的重分布焊盘，通过所述重分布焊盘连接外部电路，所述电极导电层、所述导电微柱阵列、所述基板焊盘和所述重分布导电层之间形成电连接。本发明能够实现器件的一体化MEMS流片加工方式，加工一致性高，生物相容性好。
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公开(公告)号：CN113956516B
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202111429264.5
申请日：2021-11-29
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供一种CH聚合物球壳靶的制备方法，所述方法包括：提供CH聚合物溶液；将所述CH聚合物溶液在平面基底上形成薄膜，得到聚合物平面膜；将所述聚合物平面膜从所述平面基底剥离后，平铺在固定于网格中的球模上；将所述聚合物平面膜和所述球模一同置于烘箱中缓慢升至预设温度，并保温预设时长后随炉冷却，得到球冠膜；对所述球冠膜激光切割后沿切割轮廓进行剥离，得到CH聚合物球壳靶。本发明的制备方法具有简单高效的优点，所制备的CH聚合物球壳靶适用于惯性约束聚变实验。
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公开(公告)号：CN113267837B
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202110399549.2
申请日：2021-04-14
Applicant: 上海交通大学
IPC: G02B3/00
Abstract: 本发明提供一种具有双重光路隔离的微透镜阵列及其制备方法，包括：第一层负性光刻胶的上表面形成若干呈阵列式排布的微型复眼透镜；设置于第一层负性光刻胶下表面上作为隔离层的Parylene薄膜；设置于Parylene薄膜下表面的黑色光刻胶层，黑色光刻胶层形成隔离阵列，且隔离阵列位于相邻两个微型复眼透镜之间，用以阻挡相邻光路之间串扰；设置于黑色光刻胶层外表面的第二层负性光刻胶第二层负性光刻胶作为基底；且第二层负性光刻胶填充于隔离阵列之间缝隙中，并覆盖于黑色光刻胶层表面上。本发明利用微纳加工制备具有阻挡相邻光路之间串扰问题的黑色光刻胶层和自身具有自书写能力的负性光刻胶，通过对入射光进行双重隔离从而实现高分辨率成像的性能。
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公开(公告)号：CN114444662A
公开(公告)日：2022-05-06
申请号：CN202210104020.8
申请日：2022-01-28
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供一种基于深度学习的低温传感器的高精度温度预测方法，该方法包括：获取低温传感器的温度与电阻对应关系的数据集；利用切比雪夫多项式和归一化法对所述数据集进行预处理，得到处理后数据集；构建深度学习模型，调节超参数后，将所述处理后数据集分段形成低温区和高温区，所述低温区与所述高温区有重叠区间，并对所述处理后数据集进行训练；根据训练结果预测温度值。本发明通过深度学习方法与切比雪夫多项式结合，能够提高低温传感器的温度预测精度。
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公开(公告)号：CN112543408B
公开(公告)日：2022-04-26
申请号：CN202011529954.3
申请日：2020-12-22
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供一种封闭式振动膜压电MEMS扬声器及其制备方法，包括：在基底上依次制备第一电极、压电层及第二电极；依次对第二电极、压电层及第一电极刻蚀，得到图形化的第二电极、压电层及第一电极，构成图形化的振动膜单元；图形化的振动膜单元为具有六个相同尺寸三角形；对基底进行刻蚀，使图形化的振动膜单元形成六个尺寸相同的沟槽间隙，得到器件；在器件的上表面沉积一层封装材料，使沟槽间隙封闭；对器件的下表面进行刻蚀，在图形化的振动膜单元的背面形成背部腔，且背部腔的外轮廓覆盖图形化的振动膜单元的外轮廓。本发明同时兼有封闭膜与不封闭式膜的压电MEMS扬声器的优点，既有较大的振动膜振动偏移位移，又不会产生声压级的泄露。
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公开(公告)号：CN114242270A
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN202111558082.8
申请日：2021-12-20
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供一种复合抛物面聚光靶型及其制备工艺，所述靶型包括：复合抛物面靶壳，其内表面为由抛物线沿中心轴旋转180°而成的轴对称壳体，所述壳体由曲面沿着抛物面延长线截断，保证激光聚焦点位于激光输出端口以外；垂直靶架，用于支撑所述复合抛物面靶壳，并将所述复合抛物面靶壳进行垂直固定。利用精密加工工艺，实现金属材料壳体的制作，结合精密车削技术、厚金属电镀技术、双模态腐蚀技术实现抛物面壳体制备；利用高精度3D打印技术完成其垂直靶架的制作。该复合抛物面聚光靶型的设计可使激光从靶壳入射口进入，经过最多一次反射便可通过激光输出端口聚焦在一点，有效减轻聚变点火所需激光功率。
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公开(公告)号：CN114228218A
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN202111520379.5
申请日：2021-12-13
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供一种植入式柔性高密度多功能神经探针及其制备方法，方法包括：采用多种聚合物制备第一复合聚合物预制胚；采用热拉法将第一复合聚合物预制胚拉制成细丝并截取若干细丝；再采用制备的复合聚合物细丝和多种聚合物等制备第二复合聚合物预制胚；采用热拉法将第二复合聚合物预制胚拉制成细丝并截取若干细丝；可多次重复预制胚制备和热拉伸；对最终得到细丝一端打磨抛光端面，清洗、烘干。本发明基于热拉法制备的柔性神经探针能够实现电极记录点、液体通道以及光通路的多功能和多通道集成，根据具体应用可以自由灵活集成不同种类、数量和几何参数的功能通道，同时通过不同角度打磨抛光可以实现对于同一平面或不同深度的刺激或信号采集。
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