公开(公告)号：CN111344634B

公开(公告)日：2023-03-24

申请号：CN201880073203.X

申请日：2018-06-28

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 尹星莉 ,  朴惟廷 ,  林相学

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/20 ,  G03F7/26 ,  H01L21/027 ,  G03F7/09

Abstract: 本发明揭示一种硬罩幕组成物及一种使用所述硬罩幕组成物形成图案的方法，所述硬罩幕组成物包含：聚合物，包含由化学式1表示的结构单元；以及溶剂。[化学式1]化学式1与说明书中定义的相同。

公开(公告)号：CN111344634A

公开(公告)日：2020-06-26

申请号：CN201880073203.X

申请日：2018-06-28

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 尹星莉 ,  朴惟廷 ,  林相学

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/20 ,  G03F7/26 ,  H01L21/027 ,  G03F7/09

Abstract: 本发明揭示一种硬罩幕组成物及一种使用所述硬罩幕组成物形成图案的方法，所述硬罩幕组成物包含：聚合物，包含由化学式1表示的结构单元；以及溶剂。[化学式1]化学式1与说明书中定义的相同。