公开(公告)号：CN114962998B

公开(公告)日：2024-04-05

申请号：CN202210156009.6

申请日：2022-02-21

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 边景燮 ,  具仁昱 ,  金东元 ,  金珉煐 ,  金毅 ,  金钟圭 ,  苏真镐 ,  安炳俊 ,  许英虎 ,  黄汎修

IPC: F17C13/08 ,  F17C13/04 ,  F17C13/00 ,  F17C13/02 ,  B25J11/00

Abstract: 一种气体供应系统包括装载/卸载台，其包括：托架装载机，在托架装载机处，装载了装载有气体容器的托架；测试缓冲室，其被构造为测试气体容器；以及装载/卸载机器人，其被构造为在托架与测试缓冲室之间传送气体容器。气体供应台包括：存储队列，其被构造为临时存储气体容器；气体供应柜，气体容器被安装在气体供应柜处；以及传送机器人，其被构造为在测试缓冲室与存储队列之间以及在存储队列与气体供应柜之间传送气体容器。

公开(公告)号：CN117393478A

公开(公告)日：2024-01-12

申请号：CN202310849776.X

申请日：2023-07-12

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 黄汎修 ,  李供雨 ,  宋明基 ,  李圭尙 ,  崔瑞珠 ,  崔真赫

IPC: H01L21/677

Abstract: 一种晶圆传送设备包括：控制器；晶圆传送机器人，其包括被配置为保持晶圆的手单元、连接到手单元并且被配置为移动晶圆的驱动单元以及设置在驱动单元上的传感器单元；以及多个传送结构，其被配置为与晶圆传送机器人交换晶圆，所述多个传送结构中的每一个包括可由传感器单元识别的多个标记，其中，传感器单元包括识别多个标记的相机传感器以及被配置为通过向多个标记发射激光并接收从多个标记反射的激光来测量到多个标记的距离的激光传感器。

公开(公告)号：CN114962998A

公开(公告)日：2022-08-30

申请号：CN202210156009.6

申请日：2022-02-21

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 边景燮 ,  具仁昱 ,  金东元 ,  金珉煐 ,  金毅 ,  金钟圭 ,  苏真镐 ,  安炳俊 ,  许英虎 ,  黄汎修

IPC: F17C13/08 ,  F17C13/04 ,  F17C13/00 ,  F17C13/02 ,  B25J11/00

Abstract: 一种气体供应系统包括装载/卸载台，其包括：托架装载机，在托架装载机处，装载了装载有气体容器的托架；测试缓冲室，其被构造为测试气体容器；以及装载/卸载机器人，其被构造为在托架与测试缓冲室之间传送气体容器。气体供应台包括：存储队列，其被构造为临时存储气体容器；气体供应柜，气体容器被安装在气体供应柜处；以及传送机器人，其被构造为在测试缓冲室与存储队列之间以及在存储队列与气体供应柜之间传送气体容器。