公开(公告)号：CN114962998A

公开(公告)日：2022-08-30

申请号：CN202210156009.6

申请日：2022-02-21

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 边景燮 ,  具仁昱 ,  金东元 ,  金珉煐 ,  金毅 ,  金钟圭 ,  苏真镐 ,  安炳俊 ,  许英虎 ,  黄汎修

IPC: F17C13/08 ,  F17C13/04 ,  F17C13/00 ,  F17C13/02 ,  B25J11/00

Abstract: 一种气体供应系统包括装载/卸载台，其包括：托架装载机，在托架装载机处，装载了装载有气体容器的托架；测试缓冲室，其被构造为测试气体容器；以及装载/卸载机器人，其被构造为在托架与测试缓冲室之间传送气体容器。气体供应台包括：存储队列，其被构造为临时存储气体容器；气体供应柜，气体容器被安装在气体供应柜处；以及传送机器人，其被构造为在测试缓冲室与存储队列之间以及在存储队列与气体供应柜之间传送气体容器。

公开(公告)号：CN114962998B

公开(公告)日：2024-04-05

申请号：CN202210156009.6

申请日：2022-02-21

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 边景燮 ,  具仁昱 ,  金东元 ,  金珉煐 ,  金毅 ,  金钟圭 ,  苏真镐 ,  安炳俊 ,  许英虎 ,  黄汎修

IPC: F17C13/08 ,  F17C13/04 ,  F17C13/00 ,  F17C13/02 ,  B25J11/00

Abstract: 一种气体供应系统包括装载/卸载台，其包括：托架装载机，在托架装载机处，装载了装载有气体容器的托架；测试缓冲室，其被构造为测试气体容器；以及装载/卸载机器人，其被构造为在托架与测试缓冲室之间传送气体容器。气体供应台包括：存储队列，其被构造为临时存储气体容器；气体供应柜，气体容器被安装在气体供应柜处；以及传送机器人，其被构造为在测试缓冲室与存储队列之间以及在存储队列与气体供应柜之间传送气体容器。