公开(公告)号：CN110911296B

公开(公告)日：2023-07-25

申请号：CN201910752569.6

申请日：2019-08-15

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 洪尚儁 ,  金正才 ,  朴相玄 ,  小野一也 ,  禹时雄

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/67 ,  H01L21/68 ,  G03F7/20

Abstract: 提供一种卡盘驱动装置和基底处理设备。所述卡盘驱动装置包括在第一方向和第二方向上延伸的基体。第二方向与第一方向交叉。卡盘驱动装置还包括：滑块，布置在基体上并被构造为在与第一方向和第二方向基本垂直的第三方向上移动；以及气缸，布置在基体上并在第三方向上支撑滑块。卡盘驱动装置另外包括电机组件，所述电机组件布置在基体上，围绕气缸，并且被构造为在第三方向上驱动滑块。电机组件包括：线圈基体，具有围绕气缸的侧面设置的中空部分；线圈组件，布置在线圈基体上并围绕气缸的侧面设置；以及磁体组件，与线圈组件的一部分相邻。

公开(公告)号：CN110911296A

公开(公告)日：2020-03-24

申请号：CN201910752569.6

申请日：2019-08-15

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 洪尚儁 ,  金正才 ,  朴相玄 ,  小野一也 ,  禹时雄

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/67 ,  H01L21/68 ,  G03F7/20

Abstract: 提供一种卡盘驱动装置和基底处理设备。所述卡盘驱动装置包括在第一方向和第二方向上延伸的基体。第二方向与第一方向交叉。卡盘驱动装置还包括：滑块，布置在基体上并被构造为在与第一方向和第二方向基本垂直的第三方向上移动；以及气缸，布置在基体上并在第三方向上支撑滑块。卡盘驱动装置另外包括电机组件，所述电机组件布置在基体上，围绕气缸，并且被构造为在第三方向上驱动滑块。电机组件包括：线圈基体，具有围绕气缸的侧面设置的中空部分；线圈组件，布置在线圈基体上并围绕气缸的侧面设置；以及磁体组件，与线圈组件的一部分相邻。